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INFICON Edge CDG045D2电容膜片真空计（1 ...1000乇 / 毫巴）

INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有wuyulunbi的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获zhuanli的dute传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。其创新的加热概念能够对接触表面进行冷却，节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中最小巧的真空测量仪器。

好处

• 结构紧凑，节省宝贵的工具空间

• 易于集成，EtherCAT，各种满量程和法兰，标配两个设定点

• 简单的一个按钮或远程信号归零命令，零点偏移可调

• 用于快速维修和维护的诊断端口

• 两年保修，更长的使用寿命，先进的加热概念和仪表保护

• 由于具有出色的信号稳定性和可重复性，因此无需长期重新校准，即使在恶劣的等离子体应用中也是如此

• 合规性和标准：CE，EN，UL，SEMI，RoHS

典型应用

• CVD、蚀刻、PVD等半导体生产工艺