CDG045Dhs.pdf

INFICON CDG045Dhs电容膜片真空计（0.01...1000乇/毫巴）

NFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是最快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms，配备 EtherCAT 现场总线接口，开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有wuyulunbi的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获zhuanli的dute传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念，提供冰凉的接触表面和dute的速度性能， 可实现提升shiwuqianli的生产力， 使其成为同类产品中zyuixianjin的真空仪器.

益处

• 高生产力 - 反应时间快于 1 毫秒

• 灵活集成 - EtherCAT 现场总线

• 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器

• 忘记重新校准 - 90ppm/年*稳定性

典型应用

• 原子层沉积

• 高速过程控制

• PVD、CVD、刻蚀

• 一般高温真空应用