深圳市科锐诗汀科技有限公司
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INFICON真空测量
INFICON PEG100潘宁真空计(中真空至超高真空)
INFICON 潘宁真空计 PEG100 可以提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现丝极烧毁的现象。由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议,将真空计轻松集成到真空系统中。

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产品详情

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PEG100潘宁真空计(中真空至超高真空)

INFICON 潘宁真空计 PEG100 可以提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现丝极烧毁的现象。由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议,将真空计轻松集成到真空系统中。

这种潘宁真空计 PEG100 系列可直接替代 PTR 225 / PTR 225 S PTR 237 PTR 225 PB / PTR 237 D 系列潘宁发射器:

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好处

  • 直接替代 PTR 225 / PTR 225-S / PTR 237 / PTR 225 PB / PTR 237 D 真空变送器

  • 测量范围广,从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)

  • 全金属冷阴极传感器(潘宁),带陶瓷馈入装置

  • 创新的电极几何形状提供zhuo yue的点火属性

  • 等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中

  • 阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换

  • 最小化真空计附近的磁场强度

  • 用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器

  • 对数模拟输出信号

  • 现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

新闻

  • PEG100、PEG100-S 和 PEG100-D 系列可直接替代 PTR 225 / PTR 225-S / PTR 237 / PTR 237 D 真空变送器

典型应用

  • 高真空压力监控

  • 蒸发溅射系统

  • 高真空范围内的一般真空测量和控制

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