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INFICON MPG400/401反磁控皮拉尼真空计INFICON (大气压至超高真空)

冷阴极和皮拉尼复合真空规

INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规MPG400和MPG401, 测量范围从5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性

MPG400的优点：

复合真空规 – 冷阴极与皮拉尼

宽的压强测量范围从5x10-9 毫巴至大气压

无可烧毁的灯丝

的引燃功能

易清洗

FPM 或金属密封的馈入件

高压加上时LED 指示灯亮

对数模拟输出讯号

MPG400的应用：

高真空压强监测

蒸发和溅射系统的压强测量

一般真空测量和控制,从中至高真空范围