BPG400.pdf

INFICON BPG400 B-A 型皮拉尼真空计（大气压至超高真空）

INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5×^10-10 mbar至大气压（3.8×^10-10 Torr 至大气压）。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择 BPG400 单一经济型封装，在低成本、可重复的过程中进行基础压力测量。

好处

• 从 5 x ^10-10 mbar 至大气气压（3.8 x ^{10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围}

• 在 ^10-8 ...^10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性

• 皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染

• 长使用寿命氧化钇铱丝

• 备有可选的图形显示器和现场总线接口

• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预

• 符合 RoHS 标准

• 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

• 对半导体过程和传输腔室的压力测量

• 工业镀膜

• 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制