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· 流速从100到250 slm
· Viton，Buna，氯丁橡胶或EPDM的密封件和阀塞选件
· 1-2秒建立时间
· 标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0％
满量程流量范围 | 100-250 slm（相当于N2） | 储存湿度 | 0至95％相对湿度，无凝结 |
最大入口压力 | 150磅/平方英寸 | 贮存温度 | -20°至65°C |
正常工作压力差 | 30至55 psid | 外部泄漏完整性 | <1 x 10 -9（scc / sec He） |
爆破压力 | 1500磅/平方英寸 | 封闭阀的泄漏完整性 | 在40 psia至vac时<1.0％满量程（<500 mTorr） |
控制范围 | 满量程的2％至100％ | 湿材料 | 316 SS，17-1 SS，Elgiloy，430FR（标准） |
典型精度 | 满量程的20％至100％时为设定值的±1％ | 密封材料 | Viton®（VI级）或EPDM（VI级） |
重复性 | 读数的±0.5％ | 表面处理 | 平均Ra 16 µinch |
解析度 | 读数的0.1％ | 重量 | 4.5磅 （2.05公斤） |
零温度系数 | <满量程的0.05％/°C | 外壳等级 | IP66 |
跨度温度系数 | <0.08％的Rdg./°C | 合规 | CE认证 |
进气压力系数 | <读数的0.03％ | 电源要求 | +15至+24 VDC @（<4瓦） |
典型建立时间 | 通常在50 psi的10％满刻度以上需要1到2秒 | 流量输入输出信号 | 电压：0至5 VDC |
热身时间 | 1小时 | 模拟量I / O连接器 | 电压：15针“ D”型公头 |
工作温度 | 10°至50°C |
1至2秒的稳定时间和低于设定点1％的设定点精度优于其他典型的高流量质量流量控制器。精确控制保持在IE250A配置的满量程流量范围的2％。多气体/多量程功能，以及针对精度，控制范围和瞬态响应的严格性能规格，使用户可以最大程度地减少高流量MFC零件编号的库存。
可通过MFC的嵌入式诊断界面访问多气体/多量程功能（以及其他自定义控件），而无需任何特殊的软件或硬件即可操作。所有需要的工具都是标准的以太网电缆和支持JAVA的HTML浏览器。典型的高流量气体的关键气体参数已存储在设备中。配置设备仅是从下拉菜单中选择气体并指定所需的满量程流量范围。诊断界面还允许用户执行常规设备运行状况检查，绘制流量响应并存储操作数据以进行离线分析。
上一个: MKS I系列IE500A质量流量控制器
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