G系列GM100A数字控制质量流量控制器可提供模拟量(0至5 VDC或4至20 mA)或RS485,Profibus™,EtherCAT®,PROFINET或DeviceNet™I / O。数字控制电子器件利用最新的MKS控制算法,可在整个设备控制范围内对设定点进行快速,可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。数字校准可在校准气体上产生设定点精度的1%。
· 流速从50到100 slm
· 金属密封,带弹性塞
· 多种数字(ItherCAT,DeviceNet™,Profibus®,PROFINET和RS485)或模拟(0-5 VDC或4-20 mA)I / O
· 标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%
· 少于750毫秒的建立时间
控制范围 | 满量程的2%至100% | 进气压力系数 | <读数的0.02%/ psi |
满量程流量范围 | 50,000-100,000 sccm(相当于N2) | 典型建立时间 | <750毫秒,典型值在满量程的10%以上 |
流量输入输出信号 | 电压:(0至5 VDC)15针D型公头,9针D型公头,电流:4到20 mA 15针D型公头 | 热身时间 | 30分钟 |
最大入口压力 | 150磅/平方英寸 | 工作温度 | 10°至50°C |
正常工作压力差 | 50,000-100,000 sccm; 40至80 psid | 储存湿度 | 0至95%相对湿度,无凝结 |
耐压 | 1000磅/平方英寸 | 贮存温度 | -20°至80°C |
爆破压力 | 1500磅/平方英寸 | 外部泄漏完整性 | <1 x 10-10(scc / sec He) |
典型精度 | 20至100%满量程时为设定值的±1%,2至20%满量程时为额定值的±0.2% | 封闭阀的泄漏完整性 | 在大气压力为40 psig时<满量程的1.0% |
重复性 | 读数的±0.3% | 湿材料 | 316L不锈钢VAR,316不锈钢,Elgiloy®,镍 |
解析度 | 满量程的0.1% | 表面处理 | 平均Ra 10µ英寸 |
零温度系数 | <满量程的0.05%/°C | 重量 | 3磅(1.4公斤) |
跨度温度系数 | <0.08%的读数/°C | 合规 | CE认证 |
GM100A数字控制MFC带有模拟或数字I / O。数字控制电子器件采用最新的MKS控制算法,可在整个设备控制范围内对设定点提供快速,可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。GM100A的模拟和数字I / O可以轻松用来代替1179A MFC的相同I / O类型。所有GM100A均包含Modbus作为可用的辅助I / O(不包括PROFINET®和EtherCAT®)。
GM100A利用质量流量控制器最常使用的标准3英寸占地面积,流量范围为5sccm至50 slm,而无需修改现有的气体管线配置,现在可在最高100 slm(N2当量)的流量下运行。
GM100A金属密封MFC具有10 µ英寸电抛光316L表面光洁度,使该质量流量控制器可用于高纯度应用。
附带的数字校准可在全量程流量范围的20%至100%的情况下使用N2校准气体提供1%的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制,相对于相对于满量程的精度。当质量流量为满刻度的2至20%时,精度为满刻度的±0.2%。
嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力,从而减少了库存需求。您还可以监视MFC功能并就地收集性能数据。
经过验证的专利热传感器设计可提供出色的零稳定性。美国专利号5461913。
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