深圳市科锐诗汀科技有限公司
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MKS质量流量计
MKS I系列IE500A质量流量控制器
I系列IE500A质量流量控制器是采用IP66防护等级的弹性体密封的多气体/多量程MFC,设计用于苛刻的工业环境,在这些环境中,必须具有耐液体和灰尘侵入的性能。IE500A的满量程范围为250 slm至500 slm(相当于N2)。独特的控制阀设计可实现如此宽的流量范围,该设计对设定点变化做出快速响应,同时保持封闭的电导率泄漏率远低于其他高流量质量流量控制器。

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产品详情

IIP66额定的多气体,多范围弹性体密封250-500 slm质量流量控制器

 I系列IE500A质量流量控制器是采用IP66防护等级的弹性体密封的多气体/多量程MFC,设计用于苛刻的工业环境,在这些环境中,必须具有耐液体和灰尘侵入的性能。IE500A的满量程范围为250 slm至500 slm(相当于N2)。独特的控制阀设计可实现如此宽的流量范围,该设计对设定点变化做出快速响应,同时保持封闭的电导率泄漏率远低于其他高流量质量流量控制器。

·        流速从250到500 slm

·        Viton,Buna,氯丁橡胶或EPDM的密封件和阀塞选件

·        模拟,RS485,Profibus™或DeviceNet™I / O

·        标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%

·        1-2秒建立时间

技术指标

满量程流量范围

250-500 slm(相当于N2)

储存湿度

0至95%相对湿度,无凝结

最大入口压力

150磅/平方英寸

贮存温度

-20°至65°C

正常工作压力差

40至50 psid

外部泄漏完整性

<1 x 10<sup-9< sup="" style="box-sizing: border-box;"> (scc / sec他)</sup-9<>

爆破压力

1500磅/平方英寸

封闭阀的泄漏完整性

在40 psia至vac时<1.0%满量程(<500 mTorr)

控制范围

满量程的2%至100%

湿材料

316 SS,Elgiloy,430FR,PTFE(标准)

典型精度

满量程的20%至100%时为设定值的±1%
满量程的5%至20%时为满量程的±0.25%

密封材料

Viton®(VI级)或EPDM(VI级)

重复性

读数的±0.5%

表面处理

平均Ra 16 µinch

解析度

读数的0.1%

重量

12.7磅 (5.8公斤)

零温度系数

<满量程的0.05%/°C

外壳等级

IP66

跨度温度系数

<读数的0.08%/°C

合规

CE认证

进气压力系数

<0.08%的读数/ psi

电源要求

+15至+24 VDC @(<8瓦)

典型建立时间

在50 psi的10%满量程下典型<3秒

流量输入输出信号

电压:0至5 VDC
电流:4至20 mA

热身时间

1小时

模拟量I / O连接器

电压:15针“ D”型公头
电流:15针“ D”型公头

工作温度

10°至50°C

储存湿度

0至95%相对湿度,无凝结

特征

快速建立时间

2至3秒的建立时间和低于设定值1%的设定点精度超过了其他典型的高流量MFC。精确控制保持在IE500A配置的满量程流量范围的2%。多气体/多量程功能,以及针对精度,控制范围和瞬态响应的严格性能规格,使用户可以最大程度地减少高流量MFC零件编号的库存。

多气体/多量程功能

可通过MFC的嵌入式诊断界面访问多气体/多量程功能(以及其他自定义控件),而无需任何特殊的软件或硬件即可操作。所有需要的工具都是标准的以太网电缆和支持JAVA的HTML浏览器。典型的高流量气体的关键气体参数已存储在设备中。配置设备仅是从下拉菜单中选择气体并指定所需的满量程流量范围。诊断界面还允许用户执行常规设备运行状况检查,绘制流量响应并存储操作数据以进行离线分析。

IP66防护等级

Thesre质量流量控制器设计用于要求抵抗液体和灰尘进入的恶劣环境。应用包括可能需要“软管缩水”的应用,例如工业玻璃生产中存在水分和微粒的情况。这些MFC具有IP66防护等级的外壳,可以满足这些苛刻环境的严格要求。