· 流速从250到500 slm
· Viton,Buna,氯丁橡胶或EPDM的密封件和阀塞选件
· 模拟,RS485,Profibus™或DeviceNet™I / O
· 标准闭合电导泄漏率小于满量程的1.0%
· 1-2秒建立时间
满量程流量范围 | 250-500 slm(相当于N2) | 储存湿度 | 0至95%相对湿度,无凝结 |
最大入口压力 | 150磅/平方英寸 | 贮存温度 | -20°至65°C |
正常工作压力差 | 40至50 psid | 外部泄漏完整性 | <1 x 10<sup-9< sup="" style="box-sizing: border-box;"> (scc / sec他)</sup-9<> |
爆破压力 | 1500磅/平方英寸 | 封闭阀的泄漏完整性 | 在40 psia至vac时<1.0%满量程(<500 mTorr) |
控制范围 | 满量程的2%至100% | 湿材料 | 316 SS,Elgiloy,430FR,PTFE(标准) |
典型精度 | 满量程的20%至100%时为设定值的±1% | 密封材料 | Viton®(VI级)或EPDM(VI级) |
重复性 | 读数的±0.5% | 表面处理 | 平均Ra 16 µinch |
解析度 | 读数的0.1% | 重量 | 12.7磅 (5.8公斤) |
零温度系数 | <满量程的0.05%/°C | 外壳等级 | IP66 |
跨度温度系数 | <读数的0.08%/°C | 合规 | CE认证 |
进气压力系数 | <0.08%的读数/ psi | 电源要求 | +15至+24 VDC @(<8瓦) |
典型建立时间 | 在50 psi的10%满量程下典型<3秒 | 流量输入输出信号 | 电压:0至5 VDC |
热身时间 | 1小时 | 模拟量I / O连接器 | 电压:15针“ D”型公头 |
工作温度 | 10°至50°C | 储存湿度 | 0至95%相对湿度,无凝结 |
2至3秒的建立时间和低于设定值1%的设定点精度超过了其他典型的高流量MFC。精确控制保持在IE500A配置的满量程流量范围的2%。多气体/多量程功能,以及针对精度,控制范围和瞬态响应的严格性能规格,使用户可以最大程度地减少高流量MFC零件编号的库存。
可通过MFC的嵌入式诊断界面访问多气体/多量程功能(以及其他自定义控件),而无需任何特殊的软件或硬件即可操作。所有需要的工具都是标准的以太网电缆和支持JAVA的HTML浏览器。典型的高流量气体的关键气体参数已存储在设备中。配置设备仅是从下拉菜单中选择气体并指定所需的满量程流量范围。诊断界面还允许用户执行常规设备运行状况检查,绘制流量响应并存储操作数据以进行离线分析。
Thesre质量流量控制器设计用于要求抵抗液体和灰尘进入的恶劣环境。应用包括可能需要“软管缩水”的应用,例如工业玻璃生产中存在水分和微粒的情况。这些MFC具有IP66防护等级的外壳,可以满足这些苛刻环境的严格要求。
上一个: MKS I系列IE250A质量流量控制器