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MKS QL系列SurePower®射频电源（13.56MHz电源）
MKS 13.56 MHz射频电源功率从3.5KW到13KW。
SurePower®射频等离子体发生器的平台是目前在售的最先进的13.56MHz发电机。SurePower®射频电源采用国家最先进的射频拓扑结构，特制的固有功率放大器的保护，改进设计利润率，和嵌入式V-L探测传感器，实现最高可靠性，可重复性，是目前市场上准确性极佳的发电机。该平台在13.56MHz一个3U高度封装提供最高功率（13千瓦）。可选的自动频率调谐允许使用固定匹配网络进行更快的调整，更大的整体系统的可靠性，和低成本。该发电机可以添加多个CEX或常用激振器同步操作。SurePower®射频电源提供功率从3.5kW 到13.0kW。
卓越的性能
更具竞争力的产品及更高的功率水平
最大传递功率的等离子体
优良的可靠性
该13.56MHz射频功率发生器适用于多行业，多领域应用。包括：PECVD系统、PVD、ALD、蚀刻和带集成电路的制造，太阳能单元、平板显示器和数据存储装置。
特点和优点：
特殊的工艺性能——精度在一个宽的动态范围
嵌入式传感器技术高精度功率测量在一个很宽的动态范围内最积极的不匹配负载
保证可重复的工艺性能设置点可溯源到NIST的正向功率精度为1%
频率不敏感控制可过滤掉互调（IMD）产品
增加值——额外的权力和功率裕度及较好光谱纯度
同类产品里最大可用功率为13KW
比目前市场提供的负载不匹配多15%到50%的功率
更快更高的功率，更可靠的先进纳米尺度的性能工艺
增加光谱纯度用于提供一个更好的清洁信号过程控制
自动频率调谐高达5%带宽——更高的调谐速度，改进的可靠性和较低的成本
自动频率调谐（后）阻抗匹配定位最佳工作频率为最佳功率传输，保证改进的均匀性
AFT提供能力de-tune13.56MHz消除发电机之间的串扰更大等离子体的稳定性
AFT消除了对机械匹配调整的需要提供改进的系统可靠性和低成本
AFT提高了调速30-50x机械更大生产力的速率
正常运行时间卓越的生产力和可靠性
专利保护电路限制反射功率成晶体管允许放大器穿过最不利的负载条件，如等离子体瞬变和弧
先进的内部诊断提供更好的现场为降低平均修复时间和更高的可用性故障排除
SurePower®射频等离子体发生器性能
在SurePower®平台结合了高性能具有灵活、可靠的设计规格。结果是一个最苛刻的薄膜的一个强大的平台应用
图1 SurePower®发电机正向功率精度与输出功率
干净的光谱性能
对该设计的SurePower®功率放大器采用高级低通滤波。抑制能力谐波，确保一个干净的光谱响应。如图所示在图2和图3，SurePower®具有最大的谐波输出- 50dB到50欧姆的负载和精度过程的重复性。
图2 SurePower®6.5kw射频发生器显示干净的光谱响应
图3 SurePower®发电机2:1VSWR showing low spurs
输出功率的准确性
嵌入式伏安传感器SurePower®设计取代传统的定向耦合器发电机。更精确的测量电压电流传感器负载条件，并提供反馈控制交付即使在负载不匹配的存在下的功率。结果改进了在全动态范围内的功率精度操作。（见图4。）
图4 3.5kW SurePower®具有可选扩展低功率精度的发电机
MKS QL系列SurePower®射频电源产品详细资料：
型号 | QL13013 | QL10513 | QL6513 | QL5513 | QL3513 |
频率 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz |
频率稳定性和精度 | ±0.005% | ±0.005% | ±0.005% | ±0.005% | ±0.005% |
自动频率调谐 （可选） | ±5%带宽 | ±5%带宽 | ±5%带宽 | ±5%带宽 | ±5%带宽 |
可用的输出功率 | |||||
动态功率范围 | 130-13,000W | 105-10,500W | 65-6,500W | 55-5,500W | 35-3,500W |
负载动态范围（最坏的相位前向功率） | |||||
W nominal into 1.1:1 VSWR | 13000W | 10500W | 6500W | 5500W | 3500W |
W nominal into 1.5:1 VSWR | 13000W | 10500W | 6500W | 5500W | 3500W |
W nominal into 2.0:1 VSWR | 10400W | 8400W | 5200W | 4400W | 2800W |
W nominal into 3.0:1 VSWR | 7800W | 6300W | 3900W | 3300W | 2100W |
Configuration | |||||
形状因子 | 3U, full rack | 3U, full rack | 3U, full rack | 3U, full rack | 3U, full rack |
尺寸（独家of配件， 连接器等） | 17”W x 24”D x 5.25”H (max.) | 17”W x 24”D x 5.25”H (max.) | 17”W x 24”D x 5.25”H (max.) | 17”W x 24”D x 5.25”H (max.) | 8.5”W x 23”D x 5.25”H (max.) |
重量 | 120 lbs. Max | 120 lbs. Max | 120 lbs. Max | 120 lbs. Max | 60 lbs. Max |
射频输出接头 | QC法兰 （LC型供给） | QC法兰 （LC型供给） | QC法兰 （LC型供给） | QC法兰 （LC型供给） | QC法兰 （HN型供给） |
负载阻抗范围 | 不限 | 不限 | 不限 | 不限 | 不限 |
全额定输出的杂散和谐波 | |||||
电源的开关频率谐波 | -50dBc，负载50欧姆 | -50dBc，负载50欧姆 | -50dBc，负载50欧姆 | -50dBc，负载50欧姆 | -50dBc，负载50欧姆 |
谐波输出 | -50dBc，最大负载50欧姆 | -50dBc，最大负载50欧姆 | -50dBc，最大负载50欧姆 | -50dBc，最大负载50欧姆 | -50dBc，最大负载50欧姆 |
射频输出稳定性 | 30dBc,任何负载 | 30dBc,任何负载 | 30dBc,任何负载 | 30dBc,任何负载 | 30dBc,任何负载 |
额定电流 | 64A/phase | 48A/phase | 36A/phase | 32A/phase | 19A/phase |
工作环境温度 | +5 to +40°C | +5 to +40°C | +5 to +40°C | +5 to +40°C | +5 to +40°C |
冷却水流量（最小） | 3.0gpm | 3.0gpm | 3.0gpm | 3.0gpm | 3.0gpm |
A/C主电源 | 200/208 VAC ±10%, 3PE~(3W+G), 50/60 Hz | 200/208 VAC ±10%, 3PE~(3W+G), 50/60 Hz | 200/208 VAC ±10%, 3PE~(3W+G), 50/60 Hz | 200/208 VAC ±10%, 3PE~(3W+G), 50/60 Hz | 200/208 VAC ±10%, 3PE~(3W+G), 50/60 Hz |
上一个: MKS RPDG系列脉冲直流电源
上一个: MKS elite射频电源
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