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MKS RPDG系列脉冲直流电源（直流等离子电源）
MKS RPDG系列脉冲直流电源,其功率有5、10和20千瓦,频率从50至250KHz,占空比从0至40%。
MKS RPDG系列脉冲直流电源可作为反应物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）中偏置或高端薄膜工艺，是MKS新一代高性能等离子直流电源。可以使现有的PVD气相沉积设备能制造更高质量、更低缺陷的薄膜产品，以满足下一代工艺制造要求。
MKS RPDG系列脉冲直流电源型号、特点及功率参数：
型号 | 特点 | 功率 |
RPDG-50脉冲电源 | 不对称双向和单向直流电源封装 | 5kW |
成一个单元（3U） | ||
可编程的频率和占空比 | ||
RPDG-100脉冲电源 | 不对称双向和单向直流电源封装 | 10kW |
成一个单元（3U） | ||
可编程的频率和占空比 | ||
RPDG-200脉冲电源 | 不对称双向和单向直流电源封装 | 20kW |
可编程的频率和占空比 | ||
反向偏移优越管理的独立偏置电源 |
MKS RPDG-50&RPDG-100脉冲电源 MKS RPDG-200脉冲电源
MKS RPDG-50&RPDG-100脉冲电源 尺寸图
MKS RPDG-200脉冲电源尺寸图
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