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MKS Optima® OPT系列连续式直流电源（直流等离子体发生器）
MKS Optima®OPT系列直流电源,其功率有5、10、20、30、40、60和80千瓦
当今先进的溅射工艺要求高速度、高精度、可控、高可靠性优质电弧控制，MKS Optima® OPT系列直流等离子电源是MKS新一代高性能等离子直流电源，可用于半导体、集成电路、存储媒介、平板显示器、太阳能电池和高端薄膜涂层制造工艺。
MKS Optima®OPT系列直流电源型号、特点及功率参数：
型号 | 特点 | 功率 |
Optima® OPT-50 | 最低的电弧能 | 5kW输出功率 输出电压>800V |
最佳的可重复性 | ||
良好的电弧控制 | ||
接口灵活性 | ||
Optima® OPT-100 | 最低的电弧能 | 10kW和两个5kW输出功率 名义输出电压800V，最高可达1600V |
最佳的可重复性 | ||
良好的电弧控制 | ||
接口灵活性 | ||
Optima® OPT-200 | 良好的线性和精度(+ 0.1%) | 20kW,双10kW和20kW的主体配置 名义输出电压800V，可配置更高电压 |
< 4mJ微弧能 | ||
20kW主体封装体(3U)尺寸为5 1/4" | ||
接口灵活性 | ||
Optima® OPT-400 | 最低的电弧能 | 40kW 名义输出电压800V，可配置更高电压 |
良好的线性和精度(+ 0.1%) | ||
< 4mJ微弧能 | ||
接口灵活性 | ||
Optima® OPT-600 | 最低的电弧能 | 60kW 名义输出电压800V，可配置更高电压 |
良好的线性和精度(+ 0.1%) | ||
< 4mJ微弧能 | ||
接口灵活性 |
Optima® OPT-50连续式直流电源 Optima® OPT-100连续式直流电源
Optima® OPT-200连续式直流电源 Optima® OPT-400连续式直流电源
Optima® OPT-600连续式直流电源
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