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Brooks GC 系列超紧凑型质量流量控制器（MFC）
GC 系列是Brooks Instrument基于 MEMS 热式传感技术的弹性密封超紧凑型气体质量流量控制器，主打小体积 OEM、台式实验室设备，分为 GC50、GC51 两个型号。
核心特点
ji zhi紧凑体积：20 × 40 × 60 mm，大幅节省气路面板空间，适合设备内部高密度集成Brooks Ins...。
MEMS 热式传感，量程比100:1，单台覆盖宽流量区间，减少器件数量Cross Comp...。
极低阀门泄漏率，多数工况无需额外切断阀；弹性密封（橡胶密封圈），不适用半导体高纯 / 腐蚀特气，面向通用实验室、生物设备。
通讯接口：模拟量（0‑5V /0‑10V /4‑20mA） + Modbus‑RTU RS‑485，数字 + 模拟双兼容Brooks Ins...。
现场在机校准：配套 BCAT 软件，设备不用拆下来，可做校验、调参、标定、故障诊断，降低停机维护时间Brooks Ins...。
主要技术规格Cross Comp...
表格
| 项目 | GC50 | GC51 |
|---|---|---|
| 满量程（空气当量） | 210‑1500 sccm | 210‑5000 sccm |
| 精度 | 1.5% 设定值 ±0.5% 满量程 | 同 GC50 |
| 重复性 | ±0.25% 设定值 | ±0.25% 设定值 |
| 量程比（Turndown） | 100:1 | 100:1 |
| 工作压力上限 | 150 psi（约 10.3 bar） | 150 psi |
| 工作温度 | 0‑50 ℃ | 0‑50 ℃ |
| 接触介质密封 | 弹性体密封（Viton） | 弹性体密封 |
| 气路接头 | 1/4 卡套、1/4‑VCR、6mm 卡套可选 | 1/4 卡套、1/4‑VCR、6mm 卡套可选 |
| 供电 | DC 24V | DC 24V |
兼容气体
空气、N₂、O₂、Ar、CO₂、N₂O、CO、CH₄、C₃H₈等非腐蚀性气体。
典型应用场景
台式生物反应器、实验室发酵系统
各类分析仪器、医疗气体分析设备
空间受限 OEM 整机设备、桌面实验平台
注意：该系列为弹性密封，非金属密封，不用于半导体高洁净、腐蚀性特种气体工艺。
