0755-26028990
XacTorr®（CMX 系列）电容式压力计
品牌：Brooks Instrument（布鲁克斯），半导体行业主流数字式电容薄膜真空计（Capacitance Manometer），用于直接测量绝对真空压力，不受气体种类影响，广泛用于半导体镀膜、刻蚀、ALD、MOCVD 等工艺Brooks Ins...。
型号区分（按恒温温度）
表格
| 型号 | 恒温温度 | 典型精度 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| CMX0 | 常温（无加热） | ±0.25% 读数 | 洁净无冷凝气体，普通腔体，经济型 |
| CMX1（CMX45） | 45℃恒温 | 1‑1000 Torr：±0.15% 读数；＜1 Torr：±0.25% 读数 | CVD、PVD，普通薄膜工艺 |
| CMX2（CMX100） | 100℃恒温 | 同 CMX1 | 易冷凝前驱体、ALD、MOCVD 金属有机源工艺 |
| CMX3（CMX160） | 160℃恒温 | 10‑100 Torr：±0.25% 读数 | 高沸点、强冷凝气体、刻蚀腔体 |
核心规格参数
全度量程：0.1 / 1 / 2 / 10 / 20 / 100 / 1000 Torr；同时支持 mBar、Pa 单位输出
传感器：zhuan li Mark‑IV，Inconel 合金耐腐蚀膜片；自带颗粒 / 可凝物沉降区，减少频繁校零，延长寿命Cross Comp...
动态范围：4 个数量级
输出接口
模拟：0‑10 Vdc
数字：RS485、DeviceNet、EtherNet/IP
温控：双区温控，控温精度 ±0.1℃；温度未达标禁止调零（Intelli‑Touch 智能调零），避免误校零
零点温漂：0.002% FS/℃；满量程温漂：0.02% FS/℃
主要特点
全数字化架构，摒弃老式电位器，降低电子漂移；多阶数字校准，实时补偿环境温度
独立 RS485 诊断端口：不干扰设备主通讯，可在线监控、数据采集、故障排查
可选快速响应传感器，适配闭环压力控制
配套 XacTorr®‑GUI 软件，用于参数配置、读取、诊断
与老款 CMC 系列对比Brooks Ins...
CMC：仅常温、只有 0‑10V 模拟输出、无数字总线，低成本通用镀膜
XacTorr‑CMX：可加热恒温、数字 + 模拟双输出、高精度、半导体工艺级，抗污染抗漂移
典型应用
半导体设备：PVD/CVD/ 刻蚀 / ALD/MOCVD；真空镀膜；科研真空腔体；需要精确绝对压力测量的工艺。
选型关键点：工艺是否存在可凝气体，以此选择 45/100/160℃加热型号；再确定满量程（Torr）。
