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INFICON真空测量
INFICON(英福康)CDG160D电容薄膜真空计

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产品详情

CDG160DINFICON(英福康)CDG160D电容薄膜真空计的详细资料:

CDG160D电容薄膜真空计  的详细介绍

CDG160D电容薄膜真空计和CDG200D电容薄膜真空计温度控制分别在 160 ℃ 和 200 °C,具有卓越的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。 在 1 托至 1000 托满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10V、不受气体类型限制的线性压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。 陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。 INFICON CDG 品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
 

CDG160D电容薄膜真空计益处

  • 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗

  • 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点

  • 轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移

  • 诊断端口用于快速维修和维护

  • 两年保修服务,加热概念和真空计保护延长了使用寿命

  • 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最苛刻的等离子应用,都无需长期执行重新校准

  • 合规性与标准: CE、EN、UL、SEMI、RoHS

CDG160D电容薄膜真空计典型应用

  • 用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程

  • 化学和腐蚀性高温过程

  • 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

CDG160D电容薄膜真空计选型:

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