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英福康残余气体分析仪的功能
应用于ALD、蚀刻、CVD ，对残余气体进行过程监测和分析
测量速度为每点 1.8 ms（每秒 555 点）
在大多数苛刻 CVD 和蚀刻应用中，展现出经实践验证的耐久性和可靠性
应用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 软件，由 INFICON 提供支持，是一款强大的过程监测与诊断工具
紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备
Hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积，以小化表面反应时间和响应时间
电容隔膜计 (CDG) — CDG 允许用户监测过程压力，并自动保护系统不出现压力偏移
自动校准 — 确保长期数据稳定性和精度，以便进行各传感器和工具的腔室匹配
用户优越性
■ 定性气体纯度。
INFICON/英福康残余气体分析仪的 Transpector CPM RGA
1.使用总压强镜头获得的离子源压强读数@低发射
2.总压强准确度@低发射
3.离子源大工作压强@低发射
4.2x10-4Torr的离子源将在四极区域产生大约1x10-5Torr的压强
5.EM开启且保压时间为1秒时离子源处的MDPP
6.质量数40对41 AMU的贡献
7.零冲击对2 AMU的贡献
8.空气中的氪的最小可检出浓度@ 1秒保压时间
9.适用于1 Torr孔板或更低设置。0.1至2倍标称孔板压强条件下的线性@低发射
上一个: LINXON myRGA四极质谱分析仪
上一个: 锂离子电池检漏仪
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