UL6000 Fab 真空检漏仪

The UL6000 Fab是SEMI领域最先进的检漏仪，精确度、耐 用性和可靠性方面的性能超出其他所有设备。这款业界领 先的检漏仪可缩减检测流程耗时，感应操作可帮助Semi Fabs的维护保养团队在最短的时间内找出泄露面积最小的 漏点。凭借着36 l/s的氦抽速率，UL6000 Fab的性能至少比 市面上的任何其他检漏仪优化50%。响应时间更快，基本 性能可使任何Semi Fabs维护保养团队取胜。设备能够更快 地显示泄露，因此更容易找到小面积漏点，可靠性超过以 往任何设备。另外，本底气的浓度下降速度快得多，所以 可通过喷射氮气更快地检测下一个泄露检查点的密封性， 使用户能够在明显更短的时间内完成所有检测点的操作。 考虑到大多数泄露涉及多个(多大数百个)泄露检查点，这 款检漏仪缩短了代价高昂的采样探头停机时间，另外还能 提高生产力。总的来说，维护减少可缩短停机时间，提高 生产力，进而降低成本，同时减少Semi Fabs对环境造成的 影响。

优势 • 创新型增压泵 快速且精确，缩短了响应时间，提高了氦气清除速率，尤其适用于大量氦气。 • 真空前级泵 抽空时间最快，非常耐用，维护量极低，能够承受水蒸气压。 • 系统耐用 极耐受排气冲击的影响；仅需要很少的维护。 • I·CAL 采用节省时间的软件算法：将噪音将至最低水平，不忽略细节，例如轻微振荡。 • I·ZERO 2.0：INFICON专有技术 氦气本底浓度低，检测时间最短；能够可靠地检测出最小泄露面积的漏点。 • 大漏检测模式：INFICON专有技术 从大气压开始进行泄露检测；喷射法也可以进行大规模检漏。 • HYDRO·S：INFICON专有技术 删除信号中的含水量数据，在检测的开始迅速达到低本底浓度水平。 • I·CHECK 测量周围空气中的氦气浓度，确保测量条件适当。

应用 • 半导体制造 • 平面屏幕制造 • 太阳能电池制造 • 航空航天