深圳市科锐诗汀科技有限公司
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INFICON真空测量
INFICON AllceramicTM CDG160A-C/CDG160A-CS SKY电容膜片真空计

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产品详情

AllceramicTM CDG160A-C/CDG160A-CSSKY电容膜片真空计的详细资料:

SKY AllCeramic CDG160A-C是唯一专为高要求应用(例如氧化,扩散和LPCVD)而设计的完全无金属160oC温控电容膜片真空计,所有暴露于真空的表面(例如管件,等离子屏蔽和污染保护罩)均由耐腐蚀的超纯氧化铝陶瓷构成,避免来自真空计规管的潜在性金属污染。

SKY AllCeramic CDG160A-C集成CDG160A系列真空计验证的传感器技术,在LPCVD和其它苛刻的半导体制造应用中达到高可靠和重复性的性能要求。

优势:

1、防止金属污染的无金属超纯陶瓷结构。

2、温度控制于160oC,防止