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INFICON真空测量
INFICON AllceramicTM CDG025-C SKY电容膜片真空计

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产品详情

INFICON AllceramicTM CDG025-C SKY电容膜片真空计

SKY AllCeramic CDG全部显露于真空的表面由超纯氧化铝陶瓷构成,替代常规CDG的不锈钢材料,本产品适用于必须避免金属污染的应用中。

优势

1无金属污染。

2临界的零点漂移。

3事实上的耐腐蚀性-长传感器的寿命的结果是减少停机时间。

4从而阶段拥有的成本。

5在整个长的运行周期中优等的精度和重复性。

6更好的长期稳定性和温度稳定性。

7、对频繁暴露于大气不敏感。可免除隔离阀(取决于工作模式)

8、由于保护性屏蔽(Suprashield),对微粒和过程副产物不敏感。

用途:

1刻蚀、CVD和PVD工艺过程。

2采用注入或按扩散工艺的硅掺杂过程。

3氧化过程。

4产生膜厚为100A范围的栅氧化层。

5产生阻挡(Ti,TiN,Ta和TaN作为硅与铝或铜之间的保护膜层)

产品特点:SKY AllCeramic CDG全部显露于真空的表面由超纯氧化铝陶瓷构成,替代常规CDG的不锈钢材料,本产品适用于必须避免金属污染的应用中。