HPG400.pdf

INFICON HPG400高压强热电离皮拉尼真空计

 INFICON高压强热电离皮拉尼真空计，HPG400，将高压强热电离与皮拉尼真空计综合在一个小型，轻便与经济的规管中，测量压强从2X10^-6毫巴至大气压（1.5X10^-6乇至大气压）。HPG400提供高度的重复性和再现性压强测量，用于精确溅射过程的压强控制。

优越性：

1、  HPG400节省成本和设备空间，降低真空测量的安装与设置的复杂性

2、  高压强热电离真空计从1X10^-5至1毫巴为要求高的过程控制提供精确，可靠的压强测量

3、  用户可选的热电离发射在5X10^-2至1毫巴之间起始工作

4、  皮拉尼联锁保护热阴极防止它过早烧毁

5、  备有可选的图形显示器和Fieldbus接口

6、  高真空皮拉尼自动调整，减少操作人员的干预

7、  符合RoHS

用途：

1、  半导体制造中溅射工艺应用，电子学和传媒工业

2、  工业镀膜

3、  在低至高真空范围中系统的一般真空测量和控制