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INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空计(大气压至超高真空)

 INFICON B-A型皮拉尼复合真空计，BPG402-S，将两种真空计集成在一个简单小型的单元内，测量范围从5X10^-10毫巴至大气压（3.8X10^-10乇至大气压）。复合技术降低了安装，设置和集成的复杂性。选择一个经济型规管内的BPG402-S带有两根敷涂铱的氧化钇灯丝，用于普及和可再现过程中的基本压强测量。当更换传感器时，带有在机校准数据的传感元件保证高度的重复性。

这种 Bayard 热电离（双丝极）皮拉尼结合真空计 BPG402-S 系列直接取代 ITR 200 系列热电离皮拉尼发射器：

好处

• 从 5 x ^10-10 mbar 至大气气压（3.8 x ^{10-10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围}

• 在 ^10-8 ...^10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性

• 皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁

• 双长使用寿命氧化钇铱丝

• 备有可选的图形显示器和现场总线接口

• 高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预

• 传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性

• 符合 RoHS 标准

新闻

• 新！ 现在提供 EtherCAT 数字接口！

典型应用

• 对半导体过程和传输腔室的压力测量

• 工业镀膜

• 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

优越性：

1、  极宽的测量范围从5X10^-10毫巴至大气压（3.8X10^-10乇至大气压）

2、  极好的重复性，过程压强范围从10^-8…10^-2毫巴均为5%

3、  皮拉尼联锁保护B-A型系统，防止灯丝过早烧毁和高压强运行产生污染

4、  两根敷涂铱的氧化钇长寿灯丝

5、  可选图形显示和Fieldbus接口

6、  自动高真空皮拉尼调整，减少操作人员的干预

7、  易于更换传感元件，带有在机校准数据保证高度的重复性

8、  符合RoHS

 用途：

1、  半导体工艺过程和传输室中的压强测量

2、  工业镀膜

3、  从低至超高真空范围的一般真空测量和控制