ATH 1600-3200 M，ATP2300 M：抽速等级在1400-2800升/秒的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵

可靠：

我们ATH M和ATP M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴转子监测系统和实时的转子位移自动修正功能。通过采用这种高性能的轴承技术，我们的泵不仅能确保长时间的稳定性和可靠性，同时运行时也非常安静。此系列轴承技术的泵在半导体、镀膜和干蚀刻等离子体过程行业的高真空工艺中具有标杆地位，此外也广泛应用于许多其他行业和研发领域。

（ATP=no Holweck stage）

产品优势：

无润滑油的磁轴承技术实现真正的洁净真空/对所有过程气体都实现高气流量/出色的稳定性和可靠性/更好的前级泵兼容性/气体进入稳定性高/免维护低成本保养费/转速可选范围大，适合定制工艺需求/极低的噪音和震动/可任意角度安装/磁轴技术实现转子实时监测

高性能：

我们的磁悬浮分子泵广泛应用于高气流和高工作压力的真空工艺。在研究领域，我们的产品即便在极限真空相对较低的情况下，其震动仍旧微乎其微。宽泛的转速范围为各种工艺要求都提供了可能，甚至可以直接替换陈旧的高真空泵以适应抽速的要求。

安全：

在突然停电时，即便没有任何电源供电的情况下，转子仍能持续转动一段时间，并且缓慢地落到安全轴承上。同时在大量大气直接进入或者泵的控制器和通讯线断开的情况下，安全轴承也能起到很好的保护作用。轴承的状态是由控制器进行实时监测。在大量的大气进入或者受到强烈的外力冲击时，由控制器控制的气体阀可以有效快速的进行紧急制动以避免分子泵遭到毁坏。

在ATH M系列的分子泵中，带有MT型号的分子泵配有集成加热带可以进行温度控制。其中带加热系统和水冷系统同时作用，可以确保泵的工作温度相对恒定（最高工作温度75度），同时最小化过程化学物或副产物在泵体内因冷凝而产生的沉积。