HiPace®300-800 M，ATH 500 M：抽速等级在300-800升/秒的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵

技术上的完美杰作：

HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承，转子的位置能被实时控制。在工作中，动平衡装置会进行自动校准，可以最小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极低的维护成本确保了其极高的性价比。

超强的兼容性：

是否觉得不同的界面接口标准让您头疼不已？我们的磁悬浮涡轮分子泵能提供集成化的电子驱动装置供您选择，从而满足各种不同界面接口的连接需要。

产品优势：

安装简便/任意角度安装/集成控制器/无润滑油的磁轴承技术实现真正的洁净真空/对所有过程气体都实现高气流量/低震动及磁场干扰/动平衡自动补偿/转速范围大/出色的稳定性和可靠性

业界领先：

在极高的抽速、压缩比和气流量的情况下，所产生的震动却是微乎其微的，这才是客户所期望的真正理想的真空环境。5轴磁悬浮泵在业界获得了出色的性能参数，使其成为分析仪器、研发这类洁净制成和镀膜、半导体工艺这类反应制成共同的选择。

安全性高：

我们免维护的磁悬浮系列涡轮分子泵采用高质量和高安全系数的轴承以确保运行的绝对安全。即便在极其苛刻的工况环境下工作，由于我们通过了IP54防护等级，HiPace系列磁悬浮泵也能轻松胜任。同时根据ISO27892标准的产品测试也显示我们所有的泵都通过了极其严格的安全测试要求。