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2021-12
07
INFICON皮拉尼真空计的特点概要
INFICON皮拉尼真空计的特点概要一、 两种类型的皮拉尼规1、 稳定温度,测量施加的电压变化等效测量真空度(INFICON PSG500)2、 稳定电压,测量温度变化等效测量真空度(热偶规)二、 皮拉尼真空计具体型号·PSG050/051·PSG100-S PSG101-S·PSG500/500-S PSG502·皮拉尼电
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2021-12
06
英福康残余气体分析仪(RGA)在半导体制程中的重要性浅析
英福康残余气体分析仪(RGA)在半导体制程中的重要性浅析第一、12英寸晶圆的市场需求趋势明显,要持续保证产品的高良率、保障真空环境的洁净度以及在线同步侦测真空室就显得非常之重要,这就必须要选择INFICON的具有高灵敏度的残余气体分析仪(RGA)。第二、由于晶圆产品尺寸越做越小,对真空制程室内的洁净度要求也就
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2021-05
17
专业、高效、品质,揭秘英福康石英晶片制造工艺
英福康是全球领先的将石英晶片技术用于分析、测量和控制真空仪器的开发商、制造商和供应商之一。我们在美国拥有通过ISO认证的专业晶片制造工厂,从石英原料到最终产品,每一步序均遵循严格的制造标准,确保产品质量的高度可靠。多元化产品,满足不同需求除了高品质的石英晶片产品外,英福康还可快速响应用户的晶片变型需求,
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2021-03
16
真空相关小知识
PECVD:等离子体增强化学气相沉积,指借助微波或者射频波使腔室内的反应气体分子电离,形成的高化学活性等离子体在基片表面发生化学反应,沉积成膜。 PECVD根据等离子发射源的动作情况可分为动态和静态。 根据设备结构可分为链式、团簇式和U型。根据射频频率的不同可分为RF-PECVD(13.56MHz)和VHF-PECVD(30-300MHz) HJT设
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2021-03
01
浅谈英福康真空计的命名规则
所有设备真空腔体的真空度检测主要是用真空规,一般前级真空一个,本底和工艺监控各一个,如果进口的真空计,皮拉尼、热电离规、电容薄膜规等,中国的真空设备厂家中,使用最广泛的进口真空测量产品是深圳市科锐诗汀代理的瑞士英福康(INFICON)的真空计及控制器。但是困扰使用者的一个问题是英福康(INFICON)的真空计及控
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2021-01
31
关于检漏
关于检漏,关乎民用和工业用,小到自来水龙头漏水大到我们的宇航舱漏气,有些地方感觉微乎其微,有些地方且性命攸关。随着真空环境的应用不断扩大,越来越多的用户关于检漏的问题,如何检,用什么检?首先我们要知道漏怎么来数据化,漏率的单位就出来了,漏率是指在已知漏泄处两侧压差的情况下,单位时间内流过漏泄处的给定
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2021-01
31
双极旋片真空泵的问与答
1、Q:双极旋片真空泵可以应用到哪些行业?A:深圳市科锐诗汀科技有限公司代理的旋片泵可广泛应用于太阳能、光学、薄膜、冶炼、铸造、热处理、手机、半导体、建材、微电子、平板显示、Low-E玻璃、装饰品等行业,在PVD、CVD、MBE、电厂凝气器、油脂精炼系统、锂电池干燥系统、直接蒸发系统、化工蒸发、蒸馏、浓缩系统、
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2021-01
31
真空泵的问与答(二)
真空泵的问与答(二)1、Q:真空泵可以应用到哪些行业?A:真空泵广泛应用于太阳能、光学、薄膜、冶炼、铸造、热处理、手机、半导体、建材、微电子、平板显示、Low-E玻璃、装饰品等行业、尤其在电厂凝气器、油脂精炼系统、锂电池干燥系统、直接蒸发系统、化工蒸发、蒸馏、浓缩系统、原料药三合一干燥系统、食品脱水系
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2021-01
31
流量计(三)的问与答
1、Q:信号设定为零,仍有流量信号是怎么回事?A:可能是阀门泄露,被污染。用阀门100%全开来清洗阀门。也可能是流量传感器被污染,如果是瑞士福特林流量控制器的内部已经完全被污染,那内部的流量分流器就需要取出来清洗,必须采用专用工具和让瑞士福特林的技术服务部门来
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2021-01
31
流量计的问与答(二)
1、Q:流量计有很多分类吗?A:以深圳科锐诗汀代理的瑞士福特林热式气体质量流量计red-ysmart为例,从功能来分主要是纯计量类的流量计GSM,计量带控制的流量控制器GSC和满足客户特殊需求的OEM型。2、Q:流量计受温度和压力影响大吗? A:传统流量计影响较大,浮子流量计也有影响。瑞士福特林热式气
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