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技术文章

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2022-01

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浅析获得高真空超高真空的关键因数

浅析获得高真空超高真空的关键因数在许多实际应用场景，例如真空冶金、空间模拟、分析仪器、高能物理、电子显微镜和分子束外延 (MBE)等等，都需要高真空 (High Vacuum/HV) 或者超高真空 (Ultra High Vacuum/UHV) 的环境。本文将1E-3 mbar至1E-7 mbar之间的压力范围定义为高真空（HV），
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2022-01

05

氦检漏仪如何摆脱水蒸气影响

氦检漏仪如何摆脱水蒸气影响近日，全球氦检漏仪技术的领先者，INFICON（英福康）重磅发布了UL3000Fab和UL6000移动式氦气检漏仪，它们集成了三大创新功能：1、第二代智能抑零I-ZERO 2.02、本底检测I-Check3、水汽抑制HYDRO-S其中，HYDRO-S是一项最新研发的技术，用以摆脱水蒸气对本底值的影响，实现更快、更精准的检漏的创新
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2021-12

27

英福康HLD6000 Plus的全新功能，了解一下

英福康HLD6000 Plus的全新功能，了解一下您是负责RAC制冷空调或者是汽车空调管件的泄漏测试工作吗？您是否还在为酒精、粘合剂、包装材料或类似物质引起的干扰信号给你的测试工作带来困扰？那您就来了解一下INFICON集成了ES过滤器的全新HLD6000 Plus检漏仪吧，它能帮助您成功地规避这些干扰信号哦。INFICON HLD6000冷
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2021-12

22

INFICON电容薄膜规的特点概要

INFICON电容薄膜规的特点概要一、电容薄膜规的常用型号1、 CDG025D、CDG045/100/160/200二、电容薄膜规的特点·以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成·在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量·快速的预热和恢复时间,提高生产率·卓越的长期稳定性,再现性和重复性·由于电子学直接
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2021-12

07

INFICON皮拉尼真空计的特点概要

INFICON皮拉尼真空计的特点概要一、两种类型的皮拉尼规1、稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICON PSG500）2、稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）二、皮拉尼真空计具体型号·PSG050/051·PSG100-S PSG101-S·PSG500/500-S PSG502·皮拉尼电
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2021-12

06

英福康残余气体分析仪（RGA）在半导体制程中的重要性浅析

英福康残余气体分析仪（RGA）在半导体制程中的重要性浅析第一、12英寸晶圆的市场需求趋势明显，要持续保证产品的高良率、保障真空环境的洁净度以及在线同步侦测真空室就显得非常之重要，这就必须要选择INFICON的具有高灵敏度的残余气体分析仪（RGA）。第二、由于晶圆产品尺寸越做越小，对真空制程室内的洁净度要求也就
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2021-05

17

专业、高效、品质，揭秘英福康石英晶片制造工艺

英福康是全球领先的将石英晶片技术用于分析、测量和控制真空仪器的开发商、制造商和供应商之一。我们在美国拥有通过ISO认证的专业晶片制造工厂，从石英原料到最终产品，每一步序均遵循严格的制造标准，确保产品质量的高度可靠。多元化产品，满足不同需求除了高品质的石英晶片产品外，英福康还可快速响应用户的晶片变型需求，
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2021-03

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真空相关小知识

PECVD：等离子体增强化学气相沉积，指借助微波或者射频波使腔室内的反应气体分子电离，形成的高化学活性等离子体在基片表面发生化学反应，沉积成膜。 PECVD根据等离子发射源的动作情况可分为动态和静态。根据设备结构可分为链式、团簇式和U型。根据射频频率的不同可分为RF-PECVD(13.56MHz)和VHF-PECVD（30-300MHz） HJT设
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2021-03

01

浅谈英福康真空计的命名规则

所有设备真空腔体的真空度检测主要是用真空规，一般前级真空一个，本底和工艺监控各一个，如果进口的真空计，皮拉尼、热电离规、电容薄膜规等，中国的真空设备厂家中，使用最广泛的进口真空测量产品是深圳市科锐诗汀代理的瑞士英福康（INFICON）的真空计及控制器。但是困扰使用者的一个问题是英福康（INFICON）的真空计及控
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2021-01

31

关于检漏

关于检漏，关乎民用和工业用，小到自来水龙头漏水大到我们的宇航舱漏气，有些地方感觉微乎其微，有些地方且性命攸关。随着真空环境的应用不断扩大，越来越多的用户关于检漏的问题，如何检，用什么检？首先我们要知道漏怎么来数据化，漏率的单位就出来了，漏率是指在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定
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