LINXON LCMO25电容膜片真空计
技术参数
测量范围:满量程为 1 至 1000 托1。
精度:未明确指出,但具有高精度测量的特点,可满足一般工业和科研中的真空压力测量需求1。
稳定性:具有长期信号稳定性,能在长时间使用过程中保持测量结果的准确性和可靠性1。
响应速度:电源接通后可快速稳定,暴露于大气后能快速恢复测量,可快速准确地反映压力变化1。
特点
先进的数字电子设备:采用先进的数字电子技术,不仅提高了压力计的性能,还具备易于操作的特点,如一键调零功能,方便用户在使用过程中快速校准1。
耐腐蚀陶瓷传感器:其超纯陶瓷传感器具有耐腐蚀的特性,可延长传感器的使用寿命,同时提供了出色的零稳定性,即使经过数百万次的压力循环,包括暴露在大气中的突发情况,仍能保持良好的性能1。
传感器屏蔽:传感器屏蔽设计可以保护压力计免受工艺污染,确保测量的准确性和稳定性,使其适用于各种复杂的工业环境。
坚固的机械设计和数字电子技术:两者的结合提高了电磁兼容性、长期稳定性和温度补偿能力,使其在不同的工作环境和温度条件下都能稳定工作,减少了因环境因素导致的测量误差。
其他特点:具备宽范围电源,可适应多种电源输入;带有 RS232 接口,方便与其他设备进行数据传输和通信;符合无尘室使用标准,可在对清洁度要求较高的环境中使用1。
使用方法
安装:根据实际应用场景和测量需求,选择合适的安装位置和连接方式,确保压力计与被测系统之间的连接紧密、无泄漏。通常可选择 KF 或 CF 等标准真空连接接口进行安装。
连接电源和通信接口:将压力计的电源线连接到合适的电源上,确保电源电压符合压力计的要求。同时,如需要与外部设备进行通信,可将 RS232 接口与相应的设备连接好。
校准:在使用或长时间使用后,可能需要进行校准。可使用已知标准压力的校准设备,按照操作手册中的步骤进行校准,通常可通过一键调零功能和其他校准设置来调整压力计的测量精度。
测量与数据记录:安装和校准完成后,打开电源,压力计将自动进行初始化和自检,待稳定后即可开始测量。在测量过程中,可根据需要定期记录测量数据,如需实时传输数据至其他设备进行分析和处理,可通过 RS232 接口实现。
应用场景
半导体制造:在半导体芯片制造过程中,对真空环境的精确控制和测量至关重要,如化学气相沉积、物理气相沉积、离子注入等工艺都需要高精度的压力测量,LINXON LCM 025 电容压力计可提供准确的压力测量数据,确保工艺的稳定性和产品质量。
真空镀膜:用于光学薄膜、电子薄膜等真空镀膜设备中,准确测量镀膜过程中的真空压力,有助于控制镀膜的厚度、均匀性和质量,提高镀膜产品的性能和可靠性。
科研实验:在物理、化学、材料等领域的科研实验中,常常需要对真空系统中的压力进行精确测量和控制,如在高真空实验、低温物理实验、表面科学研究等方面,该压力计可满足实验对真空压力测量的高精度要求。
工业真空设备:在各种工业真空设备中,如真空干燥设备、真空包装设备、真空冶炼设备等,可实时监测设备内部的真空压力,确保设备的正常运行和生产效率。