LSP500皮拉尼标准真空计

皮拉尼标准真空计 LSP500 是 LINXON 品牌下最新的真空计产品,LSP500 基于热传导(热损失)这一经过验证的物理原理工作，这也是几

十年来广泛使用的真空测量原理。LINXON LSP500 非常适合所有需要在 5 x 104 至 1000 毫巴范围内进行可靠测量的真空应用。

LSP500 凭借精心设计的传感器技术、不锈钢法兰、可靠的电子单元以及引人注目的紧凑型铝制外壳，其适用于众多真空应用。如果在长时间工作

后需要更换传感器单元，该传感器单元可以在现场轻松更换。这突显了新款 LSP500 的用户友好性和成本效益。

技术参数

• 测量范围：通常为至 1000 毫巴，可满足多种真空环境下的测量需求145。

• 精度：在至 100 毫巴范围内，精度为读数；在至毫巴和 100 至 1000 毫巴范围内，精度为读数46。

• 分辨率：一般可达到读数6。

• 重复性：在至 100 毫巴范围内，重复性为读数46。

• 输出信号：电压范围为 0 至 + 10.3V，测量范围为 + 1.9 至 + 10V，电压与压强的关系为对数46。

特点

• 结构紧凑：采用紧凑的铝制外壳设计，体积小巧，便于安装和使用，可在空间有限的设备或系统中灵活安装34。

• 传感器技术先进：精心设计的传感器技术，能够提供准确可靠的测量结果，且传感器单元可作为备件提供，便于现场更换，减少设备停机时间。

• 兼容性好：兼容 EMC 并通过 CE 认证，可与多种设备和系统兼容，确保在不同的工作环境中稳定运行。

使用方法

• 安装：根据实际需求选择合适的安装位置和连接方式，确保真空计与被测系统之间的连接紧密、无泄漏。常见的连接方式有 DN 16 ISO-KF、DN 16 CF-R、1/8" NPT 等46。

• 校准：在使用前需要进行校准，确保测量结果的准确性。校准方法通常是将真空计与已知标准真空度的设备进行对比，调整真空计的参数使其测量结果与标准值一致。

• 测量：连接好电源和被测系统后，打开真空计电源开关，等待设备稳定后即可进行测量。在测量过程中，可根据需要设置测量范围、分辨率等参数。

• 数据记录与分析：测量完成后，可将测量数据记录下来，以便进行后续的分析和处理。一些先进的 LSP500 皮拉尼标准真空计还可以与计算机或其他数据采集设备连接，实现自动数据采集和分析。

应用场景

• 半导体制造：在半导体芯片制造过程中，需要对真空镀膜、刻蚀等工艺中的真空度进行精确测量和控制，LSP500 皮拉尼标准真空计可满足这一需求。

• 真空镀膜：在光学薄膜、电子薄膜等真空镀膜过程中，准确控制真空度对于薄膜的质量和性能至关重要，该真空计可实时监测真空度，确保镀膜工艺的稳定性和重复性。

• 科研实验：在物理、化学、材料等领域的科研实验中，常常需要对真空环境进行精确控制和测量，LSP500 皮拉尼标准真空计可作为一种可靠的真空测量工具，为实验提供准确的数据支持。

维护与保养

• 定期清洁：使用干净的软布或棉球蘸取适量的无水乙醇，轻轻擦拭真空计的外壳和传感器表面，去除灰尘、油污等杂质。

• 检查连接部位：定期检查真空计与被测系统之间的连接部位，确保连接牢固、无泄漏。如发现连接部位松动或有泄漏现象，应及时拧紧或更换密封件。

• 校准维护：按照规定的周期对真空计进行校准，一般建议每 6 个月至 1 年校准一次。如发现测量结果偏差较大或不稳定，应及时进行校准或维修。

• 避免过载和冲击：在使用过程中，应避免真空计受到过载压力和冲击，以免损坏传感器和内部电路。如被测系统的压力突然变化较大，应及时采取措施保护真空计。