BAG402.pdf

INFICON BAG402 B-A 型真空计(中到超高真空真空计)

B-A 型真空计BAG402（中到超高真空真空计）

INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×^10-10 mbar 至 2.7×^10-2 mbar（3.75×^10-10 Torr 至 5×^10-2 Torr）的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装，在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。独特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。

优势

_ 测量范围从 5 x 10^-10毫巴至 6.7 x 10^-2 毫巴 (3.75 x 10^-10乇至 5 x 10^-2乇)

_ 的再现性在过程压强从 10^-8 … 10^-2毫巴的范围内为 5%

_ 过压检测保护灯丝防止过早烧毁

_ 两根涂敷氧化钇的长寿命铱灯丝

_ 可提供以太网现场总线接口

_ 发射电流选择降低控制的复杂性

_ 易于更换传感元件和在机校准数据保证高的再现性

_ RoHS 兼容性

应用

_ 在半导体过程和传送室中的压强测量

_ 工业镀膜

_ 在低至超高真空范围内的一般真空测量和控制