CDG160D, CDG200D.pdf

INFICON CDG160D/CDG200D电容膜片真空计(1...1000乇/毫巴）

电容膜片真空计

Sky CDG160D, CDG200D 1 ... 1000 乇/毫巴

INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 和 CDG200D 真空计温度分别控制在160 °C 和 200 °C，具有zhuoyue的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质zhuoyue，jiju成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

好处

• 更低的 CoO（拥有成本）、预热速度提高 50%、节能低功耗

• 易于集成，各种满量程、法兰和接口，标配两个设定点

• 简单的一个按钮或远程信号归零命令，零点偏移可调

• 用于快速维修和维护的诊断端口

• 两年保修，通过加热概念和仪表保护延长使用寿命

• 由于具有出色的信号稳定性和可重复性，因此无需长期重新校准，即使在恶劣的等离子体应用中也是如此

• 合规性和标准：CE，EN，UL，SEMI，RoHS

典型应用

• 蚀刻、CVD、PVD等半导体生产工艺

• 化学和腐蚀性高温工艺

• 需要压力表保护的一般薄膜和真空工艺