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CDG025D-X3电容膜片真空计（0.1 ...1000 乇/毫巴）

SKY® CDG025D-X3 0.1 ...1000 TORR / MBAR 过程测量仪

KY® CDG025D-X3 - 过程仪表 - 温度补偿，环境独立

INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。高级数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀超纯陶瓷传感器提供优异的零位稳定性（包括气压突变的情况），预期使用寿命长达数百万次压力循环。传感器屏蔽可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。

好处

• 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程

• 电源接通后快速稳定

• 暴露于大气压后快速恢复

• 防腐蚀陶瓷传感器

• zhuoyue的长期信号稳定性

• 温度补偿

• 传感器受双重防污染保护

• 一键调零功能

• 宽范围电源

• 2个设定点

• RS232 接口

• 无尘室合规

典型应用

• 用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备

• 数据存储和显示器制造设备

• 工业真空设备

• 经济、高度精确的压力测量