深圳市科锐诗汀科技有限公司
联系人:刘曙东
手 机:13926558058
电 话:0755-26028990
传 真:0755-26028992
邮 箱:crystal8058@vip.163.com
网 址:www.crystal8058.com
地 址:

深圳市宝安区西乡街道劳动社区西乡大道和宝源路交汇处中央大道B座(写字楼)6I

INFICON真空测量
INFICON CDG100D SKY电容膜片真空计

如有疑问,请与我们联系!服务热线:0755-260289900755-26028990

产品详情

INFICON CDG100D SKY电容膜片真空计


INFICON SKY CDG100D真空计是高精度总压强测量和控制的最佳选择。为达到优异的半导体和等离子过程要求的性能,将CDG100D真空计的温度控制于100度。全量程范围从100毫乇至1000乇,配有全部常用的法兰型式和Fieldbus接口,和提供线性的010伏与气体类型无关的压强讯号。INFICON电容真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片。陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好,从大气压恢复快,预热时间短和超长的使用寿命。INFICON CDG是高质量,成本效益好的压强传感器,用于半导体,等离子和各项要求高的真空应用中。

优越性:

1、  CoO(拥有成本),50%快速预热,能效高,功耗低

2、  易整合于系统中,宽量程范围,法兰和接口,标准型号带有两个设点

3、  简易的一键操作或遥控讯号调零指令,零点偏离可调

4、  诊断端口用于快速检修和维护

5、  两年保用期,采用先进的加热概念和规管保护,真空计使用寿命长

6、  由于卓越的讯号稳定性和可重复性,即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用,无需重新校准

7、  符合标准:CE,EN,UL,SEMI,RoHS

用途:

1、  刻蚀,PVD,CVD和其它半导体生产过程

2、  化学和腐蚀性高温过程

3、  需要真空计保护的常用薄膜和真空过程