RQCM石英微天平的详细资料：

产品说明：

      RQCM是可以在材料沉积、分解或渗透过程中测量薄膜属性的一种非常先进的方法，系统最多支持3片晶片同时被测量，所有数据会被随时记录并通过软件转变成图表实时显示到电脑的Windows窗口上，以便于观察。整套系统主要由石英晶体微天平、频率范围为3.8MHz-6MHz或5.1MHz-10MHz的锁相振荡器、以及晶片固定器（按不同材质，不同安装方法分为CHC-100/CHK-100/CHT-100三种）和液体槽（FC-550和GC-15）所构成；另外，RQCM系统中所使用的晶片也与工业用的晶片不一样，其中主要体现在晶片的尺寸上，微天平中所用的晶片都为直径1″的大尺寸晶片,依据不同属性，不同的工作温度,形成一个系列，详见附件。

主要特点：

       1）晶体的频率、质量、阻抗可实时测量

      2）基于Windows下的软件支持

      3）支持3片晶片同时测量

      4）测量分辨率<0.4ng/cm²

        5）支持晶片满载工作

      6）具有可调抵消电容

      7）晶片电极完全电信号隔离
      8）机载的数据获取功能