MDC-360C晶体膜厚控制仪的详细资料:
主要特点:
1)信息直观——4色LCD大屏幕液晶显示器,可实时显示图表及各种重要信息,并可以通过按键在图表界面和状态界面间随时地进行切换。
2)操作简便——直观的菜单模式,32种预置的材料数据库以及alpha数字键区,最大程度地方便了用户的操作和使用。
3)功能强大——最大可扩展到四路探头输入,储存多达99种工艺过程,999种定义膜层和32种预置的材料数据库。
4)自动控制——自动切换晶片,当晶片失效时,自动暂停或中断电源;恢复正常后,可连续运行,不需要从头开始。
5)个性设置——可修改纯粹用数字和编码命名的输入/输出信息、控制程序和材料名称,使其易于辨认,避免混淆。
6)安全可靠——人性化的声音提示和报警系统,音量大小可调节。
主要技术参数:
频率分辨率 0.03 Hz,在6.0 MHz基准频率上
质量分辨率 0.375 ng/cm2
支持晶片频率 2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz
膜厚显示 0.000~ 999.9 K埃
成膜速率 00.0~999 Ang/sec (0~9.99μm/min)
膜层数量 001~999
图形显示 240×64 LCD ,CCFL背景源
产品特点:膜厚控制仪的工作原理不同于膜厚监测仪,它可以利用自身的闭环回路对镀膜过程中膜料的沉积速率、膜层厚度进行实时的监测和控制,以使镀膜效果达到最佳状态。MDC-360是基本型,具有安装/调试方便、操作简单、正面输入、功能齐全等特点,并集中了多项为客户提供便捷的设计成果,产品系列中以MDC-360C最具代表性,它融合了MDC-360和MDC-370两种机型的优点,目前也是口碑最佳,市场保有量最高的首选机型