CrystalSix探头（750-446-G1).pdf

INFICON750-446-G1 CrystalSix探头的详细资料：

INFICON CrystalSix 晶体对于要求连续监控速率的长时间过程非常重要。CrystalSix 传感器在一个传感器头中含有 6 颗石英监控器晶体，为 OLED、MBE、太阳能、长时间光学镀膜或其他需要长时间腔室排气的过程提供安全性。与 INFICON 薄膜沉积监控器结合使用时，CrystalSix 在当前晶体失效或不稳定的情况下，会自动将新的晶体转动到适当的位置。晶体更换是自动完成的，不会中断您的过程，支持持续监控沉积速率。

 晶体索引通过气动机制完成。相比同类装置使用的昂贵的真空发热电机，这种气动马达可提供更好的晶体热稳定性。一个 8 英寸的水冷却管保持传感器头的热稳定性，并提供晶体位置的灵活性。

 与某些 INFICON 薄膜控制器结合使用时，传感器提供位置反馈，因此可针对特定的材料安排特定的位置。

功能

• 装有 6 颗晶体，可进行可靠的自动转换，从而最大限度延长过程运行时间

• 晶体转换由空气驱动完成（竞争产品是使用生热电机），因而晶体温度非常稳定

• 1/8" 管保持热稳定性，并提供传感器放置的灵活性

• 提供可选晶体闸