传动件

304 S.S

阀门

304 S.S

波纹管

AM350

使用寿命

真空

尺寸小于等于8英寸，300,000次

尺寸大于8英寸，50,000次

高真空

尺寸小于等于4英寸，100,000次

尺寸大于4英寸，50,000次

漏率

用O形圈密封的小于2X10^-9 mbar.l/sec

用无氧铜垫片密封的小于5X10^-10 mbar.l/sec

烧烤温度

开阀

200℃ (Viton 密封）

闭阀

150℃ (Viton 密封）

压力范围

10-10 Torr至 大气压

可承受最大压强

20 Torr可开启

密封方式

阀门

Viton O型圈

阀盖

Viton O型圈或者无氧铜垫片

滑轨方式

手动或者气动

表面处理

抛光

选项

A、位置指示器

B、气动控制电磁阀

C、粗抽口

D、其实材料的O型密封圈