GP835真空质量监控系统

835真空质量监控仪（Vacuum Quality Monitor ,VQM^TM）结合了高性能的气体分析技术和智能仪表设计理念使复杂的测量变成了可识别的信息。835VQM系统是目前世界上速度最快、能耗最低的气体成分分析仪，它在85毫秒内完成1到145质量数的气体分子的数据收集、质谱分析和数据记录等全部工作。作为选项，VQM还可以在120毫秒内监控1-300质量数的成分。可选择部分扫描功能从而获得更快的扫描速度。

你可以从控制器输出软件中看到系统里的10种最高组成气体、全压力趋势图（配用全压力真空计）、分压力趋势图、质谱分析柱状图、数据记录、数据捕获记录、气体特性数据库以及泄露检查。控制器和真空计公需要15W功率，并且可以用1米到20米线远程连接835质谱仪。

 优势

■在85毫秒内完成质量数从1-145的气体全压力和分压力测量，或者是在120毫秒内完成1-300质量数的测量。

■即时信息：所识别的前十个最高比例的气体成分通过标准比例、百分比，全压力及分压力趋势图表示出来。

■精确的氢气和氦气检测（无低质量数分压全压现象。）

■可以进行全部样本数据的记录。

■低能耗-仅15W

■便携式设计，可使用1米到20米电缆线远程安装质谱仪。

 近乎革命性的一代产品

随着835的诞生，基于静电离子阱技术推出了革命性的新一代的质谱分析产品：
    ■超过20倍快的扫描速度。

■低于80%的能耗。

■显著加快的校准速度。

■精确的显现低质量气体成分。

■配对四极质谱和磁扇区质谱技术体积大幅度减小。

 835质谱分析技术和使用

自动共振离子阱质谱分析技术提出了一套从静电离子阱内选择性的发射离子的新方法。835VQM质谱仪原本为比例测量仪器，它可以提供混合气体的详细成分分析。

 工作原理

离子源是直接安装在离子阱内通过电子轻击电离来产生离子的一个灯丝组件。施加一个静电场将离子束缚在离子阱内，并且这些离子会以它们的固有频率在离子阱内振荡。振荡频率是与每种离子的质荷比的平方根成反比的，也就是说，轻的离子比重的离子振动频率高。当离子在一个低幅射频扫描中获得自动共振能量时就会被射出。电子倍加探测器收集入射的离子并且产生一个与离子浓度成正比的电流。

 典型应用

835质谱分析仪通常用在那些需要利用真空条件来实现制造或试验工艺的设备中（如玻璃镀膜、半导体制造、束线气体分析等）。基本应用包括本底真空检测、腔室定期清洁后的检验、检漏、污染物监测、工艺监控、真空系统质量分析等。

现场更换组件

 紧凑设计并且可分体安装

VQM质谱仪因其小巧的外形使得该系统可以用于那些空间和重量都有限制的应用。质谱仪探头和控制器不必安装在一起，因此，对于一些特殊环境，例如加速器或是束线，众所周知这类设备的辐射会导致电子器件的损坏，这时VQM质谱分析系统便成为理想选择。此外，多个质谱仪可以只用一个控制器来操作。仅仅通过移动质谱仪和控制器之间的连接电缆便可以实现。因此在同一真空腔体或是系统中免去了多个控制器的需求。

 超高真空特性

835VQM质谱仪的材料、组成和结构都是与超高真空技术标准吻合的，并且超高真空测量部分是由不锈钢、陶瓷和难熔材料组成的。

 低质谱段的高分辨率

与现有有四极质谱仪不同，VQM系统可以精确检测报告出像氢、氦这样低质量数范围的气体质谱，包括氢1的谱峰。

 超快的真空质量测量

VQM系统仅用于85ms就可以完成从1到145质量数范围内的数据收集、质谱解析和数据存储。作为选项，1到300质量数的扫描也只需120毫秒。

 超低能耗

VQM控制器和质谱仪仅需15W（最大）供电。用一个功率的静电场连同一个低辐射频信号供离子入射进入收集系统这仅需非常少的功耗。

 直观的操作系统

使用简便的835VQM应用软件提供了全套特性和功能，包括快速真空质量测量和数据存储、可变的数据呈现方式和界面选项、检漏模式、以及系统选项。

 非常强的功能

VQM系统软件使用起来空前的简便，所检测到的高浓度的前10种气体（或者用户指定气体）会以列表的形式显示出来，同时还可以表示出对应质量数或是与气体数据库中对应的气体成分的比例、百分比、或是绝对幅度。你还可以看到全压力和分压力趋势图，以及全部质谱数据。鼠标点几下你就可以获得软件可识别的所有数据图表的记录，并且它们可以在Excel或者其实常用的数据分析程序中读取。

 便捷安装

VAM质谱仪可以通过一根最长达20米的连接电缆线进行远程安装。VQM控制器可以放在操作台上，或用架式安装，也可以是其它的特定安装方式。

 单一气体校准

校准只要用鼠标点击几下就可以在几秒内完成，校准所需的气体可以是任何一种在系统中存在的气体。

 全压测量组件（可选项）

零件号为390802真空规提供了从大气到10-9托的精准且连续的压力测量。VQM质谱仪的比例程序和真空规一起使用可获得分压力数据，并能实现VQM在高压力下自动保护。当压力低于10-9托时，370Stabil-lon系列真空规和控制器可以通过零件号为801202连接电缆接入835VQM控制器使用。835VQM控制器只有宽10.49厘米、长17.85厘米、高4.01厘米。很容易装在几乎所有的系统上。

 VQM质谱仪的大小就是一个常规的电离规管大小，包括连接电缆头在内也只有19.1厘米长。它的安装法兰是标准的NW35CF的连接法兰。

VQM控制器和质谱仪之间的连接电缆有1米长、3米长和20米可选。

 综述

速度：1-145amu只要85毫秒或1-300amu只要120毫秒。

功率：最大功率仅需15瓦。

尺寸：小巧的控制器并且质谱仪可远程安装。

软件：直观、易懂、使用简便。

通讯：USB2.0，继电器输入/输出，模拟量输入/输出，与Micro-Lon全压力真空规通讯为RS-485。

方便校准：使用任何一种真空腔体内存在的气体即可。

检漏：带有漏率趋势图及声音报警。

来源：由真空仪表权威人士研发。

 835VQM浏览使用软件

835VQM浏览使用软件提供了快捷的方式来查阅全部功能数据并且优化了仪表特性。该应用软件基于对话窗口的模式通过USB2.0COM接口与VQM控制连接通讯。

真空技术将很快利益于嵌入在应用程序中的数据挖掘功能，包括气体峰值的获得和气体成分识别。这样就不必再请高级质谱专家来判断系统中有哪些气体。简单易懂的屏幕立刻就可以显示出有些什么气体、百分比多少、比例多少、和当前压力值。

高级用户会发现整套数据调整（高级设置）和嵌入在Tune界面内的数据提供了非常方便的方式来描述和优化系统特性。

 简便的引导系统

当VQM系统连入安装有VQM浏览使用软件的主机时，电脑显示器上显示的内容可以让用户选择和查阅很多功能和读数。屏幕上方的一排图标是所有操作和功能切换的快捷命令符。

第一组图标（位于屏幕的左侧）是基本功能键，用于连接和给质谱仪供电以及开始质谱扫描。第二组图标用于控制数据显示，操作模式选择，和系统设备（特性）。第三组图标用于数据存储功能。

上下文帮助功能用于提供系统操作指导，

 浏览应用软件的特色

■直观的图表用户界面。

■显示系统中最高比例的10中气体。

■单一气体校准。

■质谱输出。

■压力随时间变化趋势来显示。

■检漏功能带曲线显示/声音提示。

■DSP用于降低成本底噪音并识别峰值。

■存储数据并能再次导入软件。

■高级设置和调谐功能。

■VQI功能提供基于逻辑方程式的报警和数字输出。

 Summary界面（概要界面）

浏览软件对质谱进行收集、分析和解释。软件计算质谱平均数、识别和计算质谱峰值。并把这些信息显示出来。真空腔体内的气体（最多10种气体/质量数），分压力、趋势、全压力、平均值和质谱柱状图等扫描数据都是动态显示的。

 Tune功能（调谐功能）

调谐界面用于校准，电子倍加收集器调整，RF射频调整，和离子阱配置。调谐界面提供了获取质谱仪原始质谱输出的功能，也提供了参数、状态，和硬件特性信息的存储。调谐界面还能读取出厂设置和用户设置。高级质谱分析专家可以使用调谐功能定义特定的仪表操作参数。自动调整功能可以确定恰当的设置以优化系统性能。

 显示结果

气体分析结果可以以比例（标准），百分比（%），和绝对值（与全压试选项一起使用）显示出来。图表界面显示出全压力、分压力、和全量程质谱数据。分压力趋势图和检漏界面允许监测特定气体浓度和分压力随时间变化状态。

 柱状图

柱状图模式是以柱状图的形式显示出质谱特性，可以显示比例或分压力（如果与全压力计选项一起工作）。

 检漏

检漏界面允许从示漏气体列表（氢、氦、氮、氩、氟里昂）中选出一种气体并且显示出当前的漏率极限和所选气体的分压力趋势。

 校准便捷

VQM系统可以用现存于真空腔体内的(1-145amu)任意一种气体非常方便进行校准。单选你想要用来校准的谱峰，点击箭头调整谱峰与其对应的质量数一致。然后所有其它的气体谱峰也会相应调整准确。

缩放功能可以很容易看到所选峰型的谱图。

 VQI^TM（VacuumQuality Index）功能

由监控全压力、分压力或其他参数设定构成的方程式可用于驱动声音报警和数字输出。方程式可以使用布尔逻辑运算“AND(与)”、“OR(或)”和“小于”、“大于”、“等于”等操作。对于“等于”操作，允许有一个小偏差范围。VQI方程可以手动输入也可以从谱库中自动生成。

 趋势图

主屏上的趋势图展示了系统中的前10种气体在15分钟时间范围内的变化情况。趋势曲线以对数坐标显示。缩放功能可以调整坐标曲线到最佳视觉效果。趋势图也不局限于15分钟内。为适合更长时间比例的国表并确保数据存储大小的合理性，可根据需要在趋势图中间选取数据点。

 数据存储

    可以在选定的时间范围内存储全部扫描速度下的原始数据和过程数据。过程数据是非常小的因为它仅仅是保存每个质量数的振幅。当要进行一个长时间记录时，过程数据允许选择间隔时间存储以节省磁盘空间。Logs存储的数据可以在软件程序中重现出来并且rew logs存储的数据可以在应用软件中动态显示出来以便进一步分析数据。不有一种保存功能是原始数据、平均值、加上所有的成分柱状图和趋势信息的快照记录方式。保存的数据格式是CSV（逗号分隔值）ASCII文件。