深圳市宝安区西乡街道劳动社区西乡大道和宝源路交汇处中央大道B座（写字楼）6I
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特点及应用：
•操作简单
•可靠，方便
•在线原位分析真空环境及工艺气体
•定性或定量分析监测溅射镀膜反应工艺过程中真空室内的气体分压强
•优化工艺过程参数，提高镀膜产品质量
•对真空系统检漏
在工艺中的效果
•改善质量
•提高流片量
•减少停机时间
•改进工艺
•缩小工艺周期
•降低成本
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