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高性能，大流量250 slm质量流量控制器
P250A是金属密封的多气体/多量程质量流量控制器，能够在100至250 slm的氮气满量程流量范围内运行，并具有独特的控制阀设计，可实现快速的设定点响应，同时保持封闭的电导率泄漏率远低于其他高流量MFC。P250A具有快速的建立时间（不到2秒）和1％的设定点精度，胜过其他典型的高流量MFC。
· 流速从100到250 slm
· 设定值精度为1％的多气体/多量程
· 模拟量I / O：0至5 VDC，4至20 mA
· 数字量I / O：DeviceNet，RS485，Profibus
满量程流量范围 | 100至250 slm（相当于N2） | 温度显示 | 0至85°C |
最大入口压力 | 150磅/平方英寸 | 温度精度 | ±2°摄氏度 |
正常工作压力差 | 25至45 psid（在MFC出口处为大气压） | 温度分辨率 | 0.1°摄氏度 |
耐压 | 1000磅/平方英寸 | 显示 | 数值为4位数字，单位为4个字符 |
爆破压力 | 1500磅/平方英寸 | 配件类型 | 世伟洛克®8VCR® |
控制范围 | 满量程的2％至100％ | 外部泄漏完整性 | <1 x 10 -10（scc / sec He） |
典型精度 | 满量程的20％至100％时为设定值的±1％ | 封闭阀的泄漏完整性 | 在40 psia至vac（<500 mTorr）时，小于已配置满量程的1.0％ |
重复性 | 读数的±0.3％ | 湿材料 | 316L SS VAR，316 SS，Elgiloy，430FR，Buna-N，镍，聚酰亚胺 |
解析度 | 读数的0.1％ | 表面处理 | 平均Ra 10 µinch |
零温度系数 | <满量程的0.05％/°C | 重量 | 3磅（1.4公斤） |
跨度温度系数 | <读数的0.08％/°C | 合规 | 符合89/336 / EEC的CE |
进气压力系数 | <读数的0.02％/ psi | 所需的DeviceNet输入功率 | 每个DeviceNet™规格为+11至+25 VDC（@ <9瓦） |
典型建立时间 | 50 psi以下时，通常在10％满刻度以上<3秒（典型值） | DeviceNet连接器 | 5针微连接器 |
热身时间 | 30分钟 | DeviceNet数据速率开关选择 | 4个位置：125、250、500K（默认），GM（可通过网络编程） |
工作温度 | 10°至50°C | DeviceNet网络规模 | 多达64个节点 |
储存湿度 | 0至95％相对湿度，无凝结 | DeviceNet网络拓扑 | 同一网络电缆上的线性（中继线/吊线）电源和信号 |
贮存温度 | -20°至80°C |
P250A的快速建立时间（少于2秒）和一（1）％的设定点精度的性能超过了其他典型的高流量MFC。控制能力可降低至设备配置的满量程的2％。这些功能与设备的多气体/多量程功能相结合，扩展了用户的能力，可将MOCVD，硅外延，RTP和扩散/氧化应用所需的高流量MFC库存降至最低。
通过设备的嵌入式软件和标准以太网接口，无需使用特殊软件或硬件即可运行，只需一个标准Web浏览器和一台PC，即可轻松实现多气体/多量程功能的使用。对于使用中的典型高流量气体，已经在设备上存储了重要的气体参数。只需选择气体并指定满量程流量范围即可配置设备。该界面还允许用户执行设备诊断，绘制流程并存储数据以进行离线分析。
P系列高性能MFC具有全数字控制架构，可在可操作设备范围内快速响应设定值。嵌入式Web浏览器应用程序允许更改气体类型和满量程流量，从而通过最小化必须保留在库存中的MFC的数量和种类来降低总体成本。
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