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GE50A弹性密封数字型质量流量控制器
多气体，多量程，弹性体密封，5-50,000 sccm的质量流量控制器
MKS G系列GE50A数字控制质量流量控制器可提供RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。数字控制电子器件利用最新的MKS控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点进行快速，可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。数字校准可在校准气体上产生设定点精度的1％。
· 流量从5到50,000 sccm
· Viton，Buna，氯丁橡胶或Kalrez的密封件和阀塞选项
· 多种数字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模拟（0-5 VDC或4-20 mA）I / O
· 标准闭合电导泄漏率小于满量程的0.1％
· 少于750毫秒的建立时间
类型 | 质量流量控制器 | 跨度温度系数 | <0.08％的读数/°C |
控制范围 | 满量程的2％至100％ | 进气压力系数 | <读数的0.02％/ psi |
满量程流量范围 | 5-50,000 sccm | 典型建立时间 | <750毫秒，通常在满量程的5％以上 |
密封材料 | Viton，Buna-N，氯丁橡胶或Kalrez | 热身时间 | 30分钟 |
模拟连接器 | 9引脚或15引脚D子级 | 工作温度 | 10°C至50°C |
最大入口压力 | 150磅/平方英寸 | 储存湿度 | 0至95％相对湿度，无凝结 |
正常工作压力差 | 10至5000 sccm; 10至40 psid，10000至20000 sccm; 15至40 psid，30000至50000 sccm; 25至40 psid | 贮存温度 | -20°至80°C |
耐压 | 1000磅/平方英寸 | 外部泄漏完整性 | <1 x 10-09（scc / sec He） |
爆破压力 | 1500磅/平方英寸 | 封闭阀的泄漏完整性 | 在大气压力为40 psig时高达10K阀门<FS的0.1％，在大气压力为40 psig时20K-50K阀门<FS的1.0％ |
典型精度 | 20至100％满量程的设定点的±1％，2至20％满量程的设定点的±0.2％ | 湿材料 | 316L SS VAR，316 SS，Elgiloy®，镍 |
重复性 | 读数的±0.3％ | 表面处理 | 平均Ra 16µ英寸 |
解析度 | 满量程的0.1％ | 重量 | 3磅（1.4公斤） |
零温度系数 | <满量程的0.05％/°C | 合规 | CE认证 |
GE50A数字控制MFC可提供模拟或数字I / O。数字控制电子器件采用最新的MKS控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点提供快速，可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。GE50A的模拟量和数字量I / O可以轻松替代1179A MFC的相同I / O类型。所有GE50A均包含Modbus作为可用的辅助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。
GE50A利用MFC最常用的标准3英寸占地面积，流量范围为5sccm至50 slm，从而无需修改现有的气体管线配置即可使用。
GE50A的设计采用了最少的弹性体。只有一个外部弹性体密封件和弹性体阀芯。否则，所有湿润的表面都是金属。GE50A标配Viton®密封件以及Buna，Neoprene®，EPMD或Kalrez®的选件，允许该设备与需要以下替代品之一的气体一起使用
附带的数字校准可在全量程流量范围的20％至100％的情况下使用N2校准气体提供1％的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制，相对于相对于满量程的精度。当质量流量为满刻度的2至20％时，精度为满刻度的±0.2％。
嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而减少了库存需求。您还可以监视MFC功能并就地收集性能数据。
经过验证的专利热传感器设计可提供出色的零稳定性。美国专利号5461913。
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