深圳市科锐诗汀科技有限公司
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MKS质量流量计
647C MKS多通道气体流量和压力控制器

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产品详情

647C MKS647C MKS多通道气体流量和压力控制器的详细资料:

647C MKS多通道气体流量和压力控制器

647C型是一个全方位提供多通道控制压力和流量的控制器。最高可用于八通道的气体质量流量和一个压力管道,允许按压强比率独立控制气体流量。一个压力通道和四通道同时在LCD上显示,并从面板直接控制或远程使用模拟或RS-232接口控制。

647C MKS多通道气体流量和压力控制器选型

例如:647cxycr

通道(X)

代码

4

8

接口(Y)


RS-232C

R

控制选项(C)


没有

0

PID控制压力

1

继电器的选择(R)


没有

N

继电器:4通道

T

继电器:8路通

T

综合布线的647C:

CB147-1-10连接647,358,558,1150,1152,1359,1559,179(15针)

CB260-3-10也需要连接647 1150,1152

CB147-25-3连接647至250(PCS)

CB147-22-3连接647至647(菊花链)

CB147-30-10连接647 121,221

CB147-12-10连接647至179(9针)

CB147-7-10连接647至179(20针卡边缘)

CB647-19-10连接647至9针700 / 800系列

CB647-4-3连接647至270

CB647-1-10连接647 626,627

CB1480-1-10连接1480

647型是一个全方位提供多通道控制压力和流量的控制器。最高可用于八通道的气体质量流量和一个压力管道,允许按压强比率独立控制气体流量。一个压力通道和四通道同时在LCD上显示,并从面板直接控制或远程使用模拟或RS-232接口控制。

例如:选型647cxycr

通道(X)

代码

4

8

接口(Y)


RS-232C

R

控制选项(C)


没有

0

PID控制压力

1

继电器的选择(R)


没有

N

继电器:4通道

T

继电器:8路通

T

综合布线的647C:

CB147-1-10连接647,358,558,1150,1152,1359,1559,179(15针)

CB260-3-10也需要连接647 1150,1152

CB147-25-3连接647至250(PCS)

CB147-22-3连接647至647(菊花链)

CB147-30-10连接647 121,221

CB147-12-10连接647至179(9针)

CB147-7-10连接647至179(20针卡边缘)

CB647-19-10连接647至9针700 / 800系列

CB647-4-3连接647至270

CB647-1-10连接647 626,627

CB1480-1-10连接1480