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180A ALTAMKS数字型金属密封流量计全数字MKS ALTA质量流量计在功能和性能上做了技术改进，帮助用户在半导体行业，真空镀膜行业增加产量，降低系统成本，更好的与腔体匹配。ALTA改进性能准确度到1%。减少MFMS库存数量，ALTA代表MKS持续致力于帮助客户提高生产效率，降低系统成本。
180A ALTAMKS数字型金属密封流量计选型
例如：180A00411CR36MXX选型
前缀 | 编码 |
180A Analog | 180A |
气体选择 | |
Helium, He | 001 |
Argon, Ar | 004 |
Hydrogen, H2 | 007 |
Nitrogen, N2 | 013 |
Oxygen, 02 | 015 |
流量选择（最大30000 N2当量） | |
10 | 11C |
20 | 21C |
50 | 51C |
100 | 12C |
200 | 22C |
500 | 52C |
1000 | 13C |
2000 | 23C |
5000 | 53C |
10000 | 14C |
20000 | 24C |
接口法兰选择（兼容） | |
Swagelok® 4 VCR® male | R |
1/4" Swagelok（兼容） Compression | S |
C密封 | C |
W密封 | H |
阀门选择 | |
没有阀门 | 3 |
模拟接口 | |
9针“D”类型 | A |
15针“D”类型（MKS） | B |
15针“D”类型（交替） | E |
Profibus | 4 |
DeviceNet | 6 |
密封选择 | |
金属密封 | M |
版本-唯一总线适配器 | |
除了客户指定，MKS公司将给当前的版本 | XX |
可选配件 | |
ALTA数字软件用户界面工具包（单证） | |
模拟量I／O版本，USB通信，USB端口键** | 1037539-001 |
模拟量I／O版本，USB通信，并行端口** | 1037539-002 |
模拟量I／O版本，RS-232通信，USB键** | 133730-G1 |
模拟量I／O版本，RS-232通信，并行端口键** | 133730-G2 |
USB端口的PC DeviceNet版本*** | 133900-G1 |
与PC机并行端口的DeviceNet版本*** | 133900-G2 |
更换USB端口键 | 133897-G1 |
更换并行端口键 | 133897-G2 |
180A接线方式 | |
使用USB电缆数字ALTA MFC转换器组件 模拟量I / O接口与PC机（包含在1037539套件内） | 1037538-001 |
电缆使用MKS 246 / 247电子数字ALTA 15针D 模拟量I／O接口（XX表示所需长度，例如CB1480-1-10） | CB1480-1-XX |
RS-232电脑延伸电缆10英尺（包含在133730套件内） | 095-103377 |
RS-232电缆用于ALTA MFC模拟数字转换器组件 模拟量I/O接口与PC机（包含在133730套件内） | 134566-G1 |
*附加气码，接触应用工程。
*套件包括电脑转换器组件的电缆和一个RS-232或USB延长线
***客户必须提供DeviceNet接口卡，硬件，和电缆
上一个: 1179A MKS1179A MKS1179A质量流量计
上一个: M100B MKS质量流量控制器
0755-26028990
