全方位安装型复合分子泵的优点

排气范围广：低真空到超高真空的宽广范围内排气
大流量排气：可排大流量的气体
迅速启动：启动快，可缩短待机时间

耐振动耐冲击：经得住压力的急速上升，耐大气冲击能力强；且适用于受外部震动影响的使用环境

优越的耐久性：通过适当的维修可长期使用（泵的寿命达到10万小时以上）

用途：半导体；FPD(LCD,PDP,有机EL,FED,其他)制造 ；各种电子部件的制造 ；管球制造，光学部件（镜片，光学过滤器等）制造；尤其适用于移动式的排气装置；电子枪排气，离子源排气，热处理；表面处理，表面改质；分析，试验装置 ；加速器，放射光设备，核聚变研究 ；研究开发用

                            TG70F控制器一体型复合分子泵

*辅助泵的容量是25L/min情况下的容许最大流量
使用环境温度：极限压力的保证环境温度是10-23度、容许环境温度是8-38度
对应气体种类：根据抽吸气体种类，轴承润滑脂或内部部件会受损。有关对应的气体种类请咨询
标准组合：泵+控制器用接口

特殊附属品（另行购买）：冷却风扇，控制器+电机电缆（TG20F-20的情况），自动慢排阀，气体吹扫接口，精密针型阀，配管部件。