美国TELEMARK公司TVP1800/TVP3600水蒸气低温冷阱
快速抽气,有效的捕获真空室内的水蒸气,最大效率的满足真空镀膜的需要。
特点:
1、在较短周期内快速降温。
2、更有效的抽水蒸气。
3、占地面积小(制冷强)。
4、快速除霜。
5、数字控制技术。
6、缩短泵的抽气时间到25%至90%。
7、提高真空度。
8、提高镀膜膜层的质量。
9、有单路和双路选择(TVP3600)。
10、不使用昂贵的LN2,快速收回成本。
在PVD镀膜真空领域,我们领先开发了新的水蒸气疏水阀,改进抽气技术。在增强技术模式下TVP水蒸气低温冷阱完全兼容您现在的真空系统。提供多种连接模式,有以太网、RS-232、RS-485和模拟遥控器。预定数字控制系统能全方位的监测工艺流程,在系统板上提供多个可调节的用途,适用于最优的工艺控制。TVP低温冷阱有不同的制冷剂适用于不同的国家和地区(包括:US、EPA、EC等国际标准)
温度与冷凝功率及水蒸气压力转换表
功率100% 水蒸气压力(单位:Torr) | 98 温度转换(单位:Co) | 95 温度转换(单位:Co) |
5X10-3 | -89.6 | -84.3 |
2X10-3 | -94.6 | -89.6 |
1X10-3 | -98.2 | -93.4 |
5X10-4 | -101.6 | -97.0 |
2X10-4 | --106.0 | -101.6 |
1X10-4 | -109.1 | -104.9 |
5X10-5 | -112.2 | -108.1 |
2X10-5 | -116.0 | -112.2 |
1X10-5 | -118.8 | -115.1 |
5X10-6 | -121.5 | -117.9 |
2X10-6 | -125.0 | -121.5 |
1X10-6 | -127.5 | -124.1 |
5X10-7 | -129.9 | -126.7 |
2X10-7 | -132.9 | -129.9 |
1X10-7 | -135.2 | -132.2 |
5X10-8 | -137.3 | -134.5 |
2X10-8 | -140.1 | -137.3 |
1X10-8 | -142.1 | -139.5 |
低温冷阱参数表
| TVP1800 | TVP3600 |
最大负荷(Watts) | 1,800 | 3,600 |
最大抽速(l/sec) | 80,000 | 230,000 |
冷却水耗量(最大) | 5 lt./min @ 15 oC 10 lt./min @ 25 oC 20 lt./min @ 32 oC | 8 lt./min @ 15oC 16 lt./min @ 25oC 20 lt./min @ 32oC |
最大电流@200-230 VAC | 30 Amp | 85 Amp |
最大电流@380-440 VAC | 15 Amp | 45 Amp |
重量 | 485lbs 243kg | 930lb 412kg |
极限真空 | 2×10-8 (torr) mbar | |
最低温度 | -140℃ | |
电源 | 200-230 VAC 3 ph 50/60 Hz 或380-440 VAC 3 ph 50/60 Hz | |
冷却水接头尺寸 | 3/4” BSP female & hose barbs | |
制冷剂管接头尺寸 | 1/2” Parker UltraSeal |