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真空设备

SVACFilmLab-B 箱式镀膜机

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产品详情

SVACFilmLab-B 箱式镀膜机

规格参数：

真空系统配置：分子泵、机械泵、插板阀

最大样品尺寸：6英寸

外形尺寸：1400×900×2000mm

可集成电子束、热蒸发、磁控溅射等多个沉积模块。
PLC/触摸屏控制。
真空腔室尺寸：Φ400-500mm
极限真空：小于5×10-5Pa。