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INFICON Cygnus 2薄膜沉积控制器

Cygnus 2 薄膜沉积控制器

为 OLED 应用提供测量精度

Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多独特的功能，可帮助您实现 OLED 过程的最大价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的佼佼者。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器无与伦比的性能、品质和功能，赋予您的过程卓越的可重复性。

功能

• INFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下

• Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度

• 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器

• 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况

• 10 Hz 测量

• 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz

• USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录

• 多个源厚度合计功能

• 测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积最多 30 秒）

• 速率显示分辨率可达 0.001Å

• 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆

• 无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环

• 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控

• 可选以太网通信

• 符合 RoHS 标准