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IMM-200薄膜沉积监测仪

使卓越可重复，
通过精确的速率和厚度监控来保护和增加您的利润。
IMM-200 是一款采用 ModeLock 技术构建的沉积监测仪，具有最高的厚度精度、最佳的测量分辨率和最低的噪声速率，可最大限度地提高再现性和均匀性。
内置振荡器时，IMM-200 可以轻松地集成到以太网系统中，只需极少的硬件和占用空间。这款功能强大且精确的测量监视器肯定会为您的过程带来新的性能水平。

功能

• INFICON ModeLock 技术提供最长的晶体寿命，并确保最稳定、最高分辨率和厚度测量，即使在非常低的速率下也是如此。

• 通过最佳的 QCM 厚度测量实现产量最大化

• 单通道速率和厚度监测仪，无需不必要的附加功能，以最大限度地降低成本

• ±0.0035 Hz 超过 100 ms 采样

• 以太网通信实现无缝集成

• 紧凑的尺寸，通过节省工具空间来最大限度地降低集成成本

• 专家应用支持，能够讨论独特的应用需求，并提供比竞争对手更大的支持

• 符合 RoHS 标准

典型应用

• 半导体制造

• 发光二极管应用