INFICON UL5000干式氦气检漏仪 :
定义泄漏检测的速率和准确性
INFICON UL5000 氦气检漏仪旨在满足最为苛刻的泄漏检测应用的要求。UL5000 采用经过领域验证的真空设计,内置 INFICON 专利软件算法 I-CAL 和 Hydro-S,可以为测试提供灵活性和高灵敏度以及快速、精确的测试结果,确保任何泄漏检测应用均可快速、轻松地完成。
UL5000 在所有测试范围内均可实现快速响应,从达到测试条件到获得最终结果的周期时间极其短暂。此专门设计的真空架构可以提供持续高速的氦气泵速以及极其快的响应,能够满足您的需求。
•HYDRO-S(*HYDRO*gen-*S*uppression),使测试条件能够快速达到。
•I-CAL(智能 - *C*溶积 *A*L*lgorithm 表示 *L*eak 速率),以确保在所有测量范围内快速响应泄漏。
•经过现场验证的INFICON扇形质谱仪具有多年准确和可重复的结果,采用无故障,免维护的设计。
•一种特殊的多入口涡轮分子泵,可在所有压力下提供优化的高氦气抽速和高氦压缩,以提供出色的灵敏度,响应和快速清理。
•可旋转的显示/控制界面和可选的远程手持控制器,操作灵活。
•自我保护功能可保护UL5000免受氦气和颗粒物污染,甚至自动吹扫循环,以确保UL5000在您需要时准备就绪。
•可以通过软件启用对设备和系统软件的访问控制,以防止未经授权的使用或对测试设置的意外修改。
•通过电子邮件进行软件更新,使您的 UL5000 保持最佳性能。
• 工作站设计,具有最佳高度的工作台面,包括ESD垫和工具箱,便于测试。
•3 年离子源保修
•半导体和平板显示工具上使用的泄漏测试组件,子组件和大型腔室
•半导体和平板工具泄漏测试
•航空航天部件、子组件和系统的泄漏测试
•泄漏测试医疗产品,如起搏器、导管、X射线管和MRI系统
•泄漏测试储存容器/储罐