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2023-07

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真空压强的换算和分类

真空压强的换算和分类1 个标准大气压101325Pa（帕）1.013Bar（巴）1013mbar（毫巴）760mmHg760Torr（托）0Kgf/cm2 gauge（千克力/平方厘米表压）1.02Kgf/cm2 absolute（千克力/平方厘米绝压）泄漏率1 mbar.l/sec1mbar·L/s =0.1pa·m3/s低真空10E5 pa——10E2 pa中真空10E2 pa——10E-1 pa
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2023-06

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LX218 和 UL1000Fab 主要参数的对比表

LX218 和 UL1000Fab 主要参数的对比表LINXON LX218（8200-000）UL1000FabHe 最小可检测泄漏率＜5E-13Pam3/s (1)＜5E-12mbarl/s (1)；＜5E-8mbarl/s (2)离子源两根长寿命铱丝，带氧化钇涂层（三年质保）两根带氧化钇涂层的铱灯丝检测方法真空式和嗅探式泄漏检测法真空和吸枪模式可检测气体He4
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2023-06

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等离子（PLASMA）清洗常用的气体

等离子（PLASMA）清洗常用的气体等离子清洗机中常用的工艺气体包括氧气、氩气、氮气、压缩空气、氢气、四氟化碳等。它利用气体电离产生的等离子体对工件表面进行处理。不同的工艺气体会被用来达到最佳的处理效果，那么等离子清洗机中常用的工艺气体如何选择呢？氧气 &n
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2023-05

05

inficon 真空计的名称由来

inficon 真空计的名称由来真空腔体的真空压强检测使用真空计，一般配置是：前级泵组管道配置一只PSG500；本底真空配置一只热电离规或者冷阴极规MPG400或者BPG400；工艺压强测量/监控配置一只CDG025D。1. PSG系列: Pirani Standard Gauge2. PCG系列: Pirani Capacity Gauge3. CDG系列：Capacity Diaphragm Gauge4. BAG系列：
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2023-04

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OPG550光学等离子真空计介绍

OPG550光学等离子真空计介绍.pdfOPG550光学等离子真空计介绍INFICON Augent™光学等离子体真空计是一种紧凑型智能真空监测解决方案。体积小巧的Augent™集两种传感器技术于一身。进行气体类型监测时，压力测量范围为1 × 10-7至5毫巴；总压力测量范围可达1 × 10-7毫巴至大气压。Augent™自带具有保护作用的皮拉尼传感器，当
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2022-10

24

真空度分类浅析

真空度分类浅析真空：理论上是所在容积里面不含有任何的物质，但现实中是不存在真正的或者说绝对的真空的。我们通常把容器内的气压低于正常大气压(101325Pa)的都称之为真空状态。真空度：就是指低于正常大气压(101325Pa)的压力。比较有权威的是兰州物理研究所把低于正常大气压的真空状态分为5种：低真空的范围是：100000Pa—
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2022-10

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台湾日扬APC蝶阀使用浅析

台湾日扬APC蝶阀使用浅析台湾日扬（Htc）自动压力控制APC蝶阀，是整合真空腔体压强反馈与马达控制技术的真空阀门，可以快速调节真空腔体制程压力，完全隔绝真空侧和大气侧，APC蝶阀具有外形尺寸小、使用寿命长、易维修等特点，搭配Htc的APC软件，可以简单快速地设定并监控制程压力。APC蝶阀，广泛应用于半导体、光电产
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2022-10

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日扬矩形阀在分子束外延设备MBE上的应用

日扬矩形阀在分子束外延设备MBE上的应用国际上比较专业的大型MBE设备供应商主要有，美国的Vecco，法国的Riber，芬兰的DCA等。这几家从实验室用的小型MBE，到工业相关的英寸级别的圆晶MBE都有供应。并且能提供一定的工艺解决方案。一些超高真空表面科学的供应商，因为用户有进行MBE生长的需要，也会提供MBE解决方案，比如德国
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2022-10

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常见的三种真空法兰规格(CF、KF、ISO)

常见的三种真空法兰规格(CF、KF、ISO)1、CF 法兰的英文名是 ConflateFlange。它是一种用于超高真空中的法兰连接，是一种金属静密封，可以承受高温烘烤。2、KF 是应用在真空系统中的一种快速安装拆卸的连接方式，通常是橡胶圈密封。他由以下几个元件构成：两个成对称分布的 KF 法兰、O-Ring、定心支架、卡箍。勿需使用
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2022-10

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超高真空腔体的设计和制造

超高真空腔体的设计和制造——超高真空腔体是如何炼成的根据定义，超高真空（UHV）压力要达到10-7mbar，这意味着在这个压力范围内，表面放气对极限压力变得至关重要。超高真空中流动的气体是分子式的，平均自由路径长度超过1公里。如果压力继续下降到10-12毫巴，自由路径长度就会增长到10000公里。留在真空室中的剩余气体颗
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