真空用步进电机

✅ 两大基础系列

（两相）步距角：1.8°法兰规格：28/42/56/60/86mm（NEMA 标准）适合：一般高真空，半导体真空平台、真空平移台

（五相，真空主力款）⭐步距角：0.72°，细分后定位精度ji gao 、振动小法兰：28/42/60mm优势：低速平稳、分辨率高，是真空精密定位shou xuan ；可做到UHV 超高真空，最高耐温可达 200℃，可做耐辐照版本（空间 / 核设备）

真空定制改造要点（真空电机标准改动）

• 绕组：Kapton 聚酰亚胺低放气绝缘，无普通油漆

• 轴承润滑：UHV 版本采用固体干膜润滑（二硫化钼）；高真空版本全氟聚醚真空润滑脂；出厂烘烤除气，控制 TML/CVCM 放气指标

• 线缆：PI/PTFE 低逸出导线，真空馈通接头配套，普通橡胶线缆全部剔除

• 壳体：无喷漆，不锈钢 / 裸铝合金

• 可选配置：内置真空编码器闭环（防失步）、真空电磁刹车、减速齿轮（谐波 / 行星减速）、双出轴

驱动器依然放在大气侧，不进真空腔

真空能力

• 低真空、高真空、超高真空 UHV（10⁻⁷Pa 级别）均可定制

• UHV 机型支持高温烘烤除气（腔体烘烤）

• 散热：真空无对流，必须降额使用，高功率方案可增加热沉 / 水冷

• 极限耐温：最高 200℃，可定制低温版本

典型应用

半导体 PVD/ALD 镀膜机、真空探针台、真空光学调整台、电子显微镜内部运动机构、同步辐射、航天真空舱、科研超高真空实验平台。

1. 目标真空度（是否 UHV、是否需要腔体烘烤温度）

2. 法兰尺寸（28/42/60…）、保持扭矩、转速、占空比

3. 两相 1.8° / 五相 0.72°

4. 是否要内置编码器、刹车、减速

5. 放气指标 TML/CVCM、是否耐辐射

6. 线缆出线方式、馈通接口