一、什么是四极质谱、它有什么功能及应用？

     四极质谱（RGA)是一种用于确定系统中存在的残余气体及数量的仪器。用于检漏、工艺标定和诊断。应用于真空镀膜、热处理、半导体、太阳能等行业。

二、INFICON产品型号有哪些，各有什么特点，如何选择？

       Transpector CPM紧凑型过程监控器（带分子泵组和采样阀组、可自动控制、最大真空度1.2大气压）

       Transpector  SPS 残余气体分析仪（带分子泵组和采样阀组、可自动控制、最大真空度1.2大气压）

       CPM与SPS比较 SPS是CPM的简化版本，功能更简化。
       Transpector  XPR3+ 残余气体分析仪（质量数在0-100Amu,最大工作气压1.3X10^-2mba）

       Transpector  MPH 残余气体分析仪（质量数0-100Amu、0-200Amu、0-300Amu;最大工作气压5X10^-4mba）

       Transpector  MPS 残余气体分析仪（质量数0-100Amu、0-200Amu、0-300Amu;最大工作气压5X10^-4mba）

       MPH与MPS比较，测量间隔小、零爆小、灵敏度高。

       QMG 700 分析质谱仪

A、小于5X10^-4mba  可选择MPH/MPS。

B、大气压          可选择SPS/CPM。

C、小于1.3X10^-2mba 可选择XPR3。

关于质量数的选择：
1、100Amu

   典型应用于非反应性工艺过程，如PVD镀膜、热处理、激光、普通气体分析。检测H2、He、H2O、N2、Co、O2、Ar、CO2等小分子气体。

2、200/300 Amu

   典型应用于反应性工艺过程，如ETCH/CVD等，监测残余气体及工艺气体如CCL4，碳氢化合物、SiCL4、SF6、C3F8、WF6和Xe等高分子材料

三、关于参数指标上的解读？

1、检测器类型有FC和EM各是什么？
   FC是法拉第杯 EM是增强模块。

2、最小可检分压强是什么意思？

   是真空腔里存在气体最小压强，就像一杆秤，如果小于最小压强，就不能秤出数据来。