一、漏率:是指在已知漏泄处两侧压差的情况下,单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。
二、常用的泄漏检测方式:
1.气泡检漏。最小可检测泄漏为10-4 atm-cc/sec。
2.压力衰减。最小可检测泄漏受控于时间,通常为0.01 atm-cc/sec。
3.超声波检漏。最小可检测泄漏为0.01 atm-cc/sec。
4.氦气检漏。最小可检测泄漏为10-11 atm-cc/sec。
三:漏率单位的换算公式:
Pa·m3/s | Torr·L/s | mbar·L/s | atm·cc/s | std·cm3/s | |
1 Pa·m3/s | 1 | 7.5 | 10 | 9.9 | 9.9 |
1 Torr·L/s | 0.133 | 1 | 1.33 | 1.33 | 1.33 |
1 mbar·L/s | 0.1 | 0.75 | 1 | 0.99 | 0.99 |
1 atm·cc/s | 0.101 | 0.76 | 1.01 | 1 | 1 |
1 std·cm3/s | 0.101 | 0.76 | 1.01 | 1 | 1 |
1 std·cm3/s=0.101 Pa·m3/s
1 std·cm3/s=1.01 mbar·L/s
1 Pa·m3/s=9.9 std·cm3/s